作为(wei)的(de)X射🔯线衍射仪供给商，布(bu)鲁(lu)克AXS一向努力(li)于(yu)为(wei)泛博用(yong)户(hu)带来先(xian♈)进(jin)的(de)的(de)手艺和(he)处理计划。多(duo)功效和(he)智(zhi)能化是(shi)古代X衍射仪的(de)成长标的(de)目的(de)。近(jin)，布(bu)鲁(lu)克AXS公司在普遍好评(ping)的(de)twin光(guang)(guang)路(lu)的(de)根本(ben)上，再次缔(di)造性推出(chu)明晰合(he)适(shi)多(duo)功效X衍射仪成长趋向需要的(de)TRIO光(guang)(guang)路(lu)体(ti)系。

  装备TRIO光学体系的X射线衍射仪体系，可完成从合用于粉末样品的BB多少到合适单晶内涵薄膜样品的高分辩单色Ka1平行光路的自在切换。是以，如许的衍射仪体系能够或许知足一切范例的样品测试请求，包含粉末，块体，纤维，非晶，乃至单晶内涵薄膜。

▲TRIO激(ji)光镭雕机的光路

 TRIO-环路构造

 ꧟▲主(zhu)动权狭缝(feng)：传统意(yi)义的Bragg-Brentano集聚是多(duo)少(shao)-粉化原材(cai)料(liao)

▲Goebel镜：堆物攻度的(deᩚᩚᩚᩚᩚᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ𒀱ᩚᩚᩚ)平(ping)形光(guang)多(duo)大-GID，XRR，散射，看上去高(gao)低动(dong)不平(ping)动(dong)不平(ping)印(yin)刷品

▲Goebel镜+2次条件反射暖色器(qi)：高分(fen)辩(bian)持平(ping)光Ka1多(duo)🍒多(duo)少少(HRXRD)-单晶硅(gui)内函(han)膜(RC, 2theta-omega, Phi-Scan, RSM)，Ka1高分(fen)辩(bian)粉尘(chen)衍射

 TRIO-操纵举例 

1

Bragg-Brentano咖啡(fei)豆(dou)衍(yan)射

  高铁含量(liang)的(de)(de)(de)(de)粉末样品。得益于(yu)布鲁克进(jin)步(bu)前辈(bei)的(de)(de)(de)(de)能量(liang)分辩阵列探(tan)测器，铁的(de)(de)(de)(de)荧光背底*被去除(c🐎hu)，很大(da)程(cheng)度上的(de)(de)(de)(de)进(jin)步(bu)了(le)衍(yan)射(she)图谱的(de)(de)(de)(de)数据品质，样品中的(de)(de)(de)(de)微量(liang)物相-石英和Fe3O4-清楚可见。

2

垂直光

  (MgZn)O薄(bo)片(pian)试(shi)品从室内温(wen)(wen)湿(shi)度(du)(du)到(dao)1100度(du)(du)起伏温(wen)(wen)程序(xu)(xu)中(zhong)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)变程序(xu)(xu)。毕竟试(shi)品高宽比(bi)(bi)会随温(wen)(wen)湿(shi)度(du)(du)修改(gai)(gai)而转化成，在经典(dian)的(de)(de)(de)BB很(hen)多(duo)中(zhong)，衍射(she)图谱向高多(duo)弧(hu)度(du)(du)或低多(duo)弧(hu)度(du)(du)偏(pian)斜，这会危害(hai)查(cha)寻相(x💃iang)(xiang)变程序(xu)(xu)和(he)(he)准确度(du)(du)晶胞性(xing)能竟然定。而水(shui)平(ping)线光很(hen)多(duo)对📖高宽比(bi)(bi)修改(gai)(gai)不(bu)脆弱，很(hen)是(shi)适合(he)所选试(shi)品的(de)(de)(de)测式。从上图可知到(dao)，立米主相(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)晶胞性(xing)能随温(wen)(wen)湿(shi)度(du)(du)修改(gai)(gai)的(de)(de)(de)数(shu)量为1.2%。鄙人(ren)边的(de)(de)(de)2D视图下，除主相(xiang)(xiang)衍射(she)峰(feng)位和(he)(he)峰(feng)强随温(wen)(wen)湿(shi)度(du)(du)修改(gai)(gai)外，还可查(cha)寻到(dao)较着第(di)二(er)步(bu)相(xiang)(xiang)CuO的(de)(de)(de)显示和(he)(he)消失。

3

GID-掠入射衍(yan)射

  使(shi)用低层(ceng)面入(ru)射(she)的(de)形(xing)成平(ping)行(xing)线(xian)关，控制X放(fang)射(she)性元素在(zai)(zai)仿品(pin)(pin)中的(de)透过进一步，使(shi)衍射(she)只(zhi)导致在(zai)(zai)仿品(pin)(pin)样(yang)貌(mao)的(de)肯定进一步内，来到位多晶聚(ju)酰亚胺膜仿品(pin)(pin)的(de)检测。在(za🅠i)(zai)安(an)(an)全玻璃(li)(li)纸(zhi)衬底上制得的(de)Ag2Te纳米技(ji)术(shu)级聚(ju)酰亚胺膜仿品(pin)(pin)，以往的(de)BB多少钱二战行(xing)光GID检测工作成果的(de)对比(bi)，这图。GID图谱中，产自纳米技(ji)术(shu)级级聚(ju)酰亚胺膜的(de)旌旗灯(deng)号翻(fan)倍(bei)较着，之基不安(an)(an)全玻璃(li)(li)纸(zhi)衬底的(de)旌旗灯(deng)号。

4

XRR-X放(fang)射(she)线折射(she)率(lv)

  2🍌5nm-Si/50nm-Si0.85Ge0.15/Si涵义膜(mo)样机(ji)(ji)的(de)X放射性(xing)元素(su)折射率直(zhi)(zhi)线。操作TRIO激光(guang)光(guang)路中的(de)屈(qu)服强(qiang)度持(chi)平光(g🎃uang)，即使(shi)高视角的(de)XRR直(zhi)(zhi)线，旌旗灯号(hao)也(ye)很是较着。图内(nei)大寿命的(de)静音横条，声明范文样机(ji)(ji)中西表(biao)会有大要3nm面前的(de)SiO2氧化的(de)层。

5

HRXRD-高分辩衍射

  LED试(shi)品，GaN衬底上壮(zhuang)大6层InGaN量子(zi)阱。控(kong)制GaN(0002)峰的(de)2θ/ω图谱(上图)准确(que)度自(zi)然超🎃晶格(ge)(ge)的(de)壁厚和In的(de)酚类化合(he)物。底下倒房(fang)间承载力(li)分散(san)图(RSM)声明范文(wen)InGaN內(nei)涵贴(tie)膜与GaN衬底是共格(ge)(ge)干(gan)系。