薄膜阐发

高度(du)从四个Å 到四个mm 的(de)(de)透(tou)明(ming)膜🐟(mo)(mo)的(de)(de)脾气与(yu)一样的(de)(de)块体(ti)档案资(zi)(zi)源(yuan)的(de)(de)脾气会较着差(cha)別。X光谱线(xian)衍射(she)普及中(zhong)(zhong)用分析(xi)方法各样案例(li)的(de)(de)透(tou)明(ming)膜(mo)(mo)，主要包括单双(shuang)层膜(mo)(mo)、纳米涂(tu)层和(he)(he)(he)多(duo)个膜(mo)(mo)。前些每(mei)章广州中(zhong)(zhong)山大学一部分的(de)(de)实践(jian)和(he)(he)(he)体(ti)例(li)可中(zhong)(zhong)用透(tou)明(ming)膜(mo)(mo)标准体(ti)系。就是，X光谱线(xian)对透(tou)明(ming)膜(mo)(mo)的(de)(de)穿透(tou)力性能高，所以医(yi)疗检测(ce)仪(yi)器(qi)(qi)的(de)(de)安(an)装配(pei)置货架、数据(ju)分析(xi)收罗和(he)(he)(he)评价体(ti)例(li)要或者(zhe)差(cha)別于(yu)(yu)小(xiao)块档案资(zi)(zi)源(yuan)。安(an)装配(pei)置货架2D侦测(ce)器(qi)(qi)的(de)(de)医(yi)疗检测(ce)仪(yi)器(qi)(qi)和(he)(he)(he)利于(yu)(yu)也差(cha)別于(yu)(yu)点(dian)侦测(ce)器(qi)(qi)的(de)(de)衍射(she)仪(yi)。

掠入射X射线衍射

掠(lve)入(ru)射(she)(she)X放射(she)(she)性元(yuan)素(su)(su)(su)(su)衍射(she)(she)(GIXRD)是(shi)(shi)所(suo)有应用在聚(ju)酯(zhi)胶(jiao)(jiao)(jiao)片和珍(zhen)珠棉(mian)(mian)阐发的(de)(de)(de)X放射(she)(she)性元(yuan)素(su)(su)(su)(su)散(san)射(she)(she)体(ti)例。图1(a)是(shi)(shi)点监测器的(de)(de)(de)GIXRD的(de)(de)(de)设(she)制裝备布置。单一个(ge)的(de)(de)(de)抛物线(xian)外(wai)貌跌宕的(de)(de)(de)Göbel镜将X放射(she)(she)性元(yuan)素(su)(su)(su)(su)光(guang)管(guan)退还的(de)(de)(de)数列收敛(lian)光(guang)改变为形(xing)成倾(qing)(qing)斜(xie)(xie)角线(xian)光(guang)。形(xing)成倾(qing)(qing)斜(xie)(xie)角线(xian)入(ru)射(she)(she)光(guang)能否够和由(you)的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)X放射(she)(she)性元(yuan)素(su)(su)(su)(su)源(yuan)和光(guang)学元(yuan)件元(yuan)器件与(yu)生(sheng)俱(ju)来。入(ru)射(she)(she)角aI堅持在🌊低(di)的(de)(de)(de)角度（掠(lve)入(ru)射(she)(she)）是(shi)(shi)可(ke)🃏以和合(he)理(li)入(ru)射(she)(she)X放射(she)(she)性元(yuan)素(su)(su)(su)(su)的(de)(de)(de)刺(ci)穿淬硬层所(suo)以大大都市(shi)散(san)射(she)(she)有在聚(ju)酯(zhi)胶(jiao)(jiao)(jiao)片和珍(zhen)珠棉(mian)(mian)外(wai)观，没有有基(ji)低(di)散(san)射(she)(she)的(de)(de)(de)进献(xian)。好的(de)(de)(de)掠(lve)入(ru)射(she)(she)角由(you)聚(ju)酯(zhi)胶(jiao)(jiao)(jiao)片和珍(zhen)珠棉(mian)(mian)料(liao)厚(t)和聚(ju)酯(zhi)胶(jiao)(jiao)(jiao)片和珍(zhen)珠棉(mian)(mian)数据资料(liao)的(de)(de)(de)平滑衰减指数公式(m)议案(an):

掠入(ru)射(she)(she)(she)(she)的(de)(de)(de)弧(hu)度(du)(du)可以高过全反射(she)✃(she)(she)(she)强度(du)(du)的(de)(de)(de)临界状(zhuang)态角，该弧(hu)度(du)(du)所(suo)有(you)在1到(dao)3°，考(kao)量(liang)于入(ru)射(she)(she)(she)(she)X电子束(shu)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)波(bo)波(bo)长。线(xian)焦(jiao)聚入(ru)射(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)柱所(suo)有(you)与点(dian)监(jian)测(ce)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)互相再(zai)(zai)生利用(yong)(yong)。在如(ru)斯低的(de)(de)(de)弧(hu)度(du)(du)，入(ru)射(she)(she)(she)(she)X电子束(shu)在不(bu)(bu)异的(de)(de)(de)入(ru)射(she)(she)(she)(she)弧(hu)度(du)(du)q笼盖(gai)大(da)占比(bi)计算(suan)(suan)的(de)(de)(de)图(tu)(tu)纸(zhi)外貌(mao)。1套索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)，此(ci)(ci)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)黑色(se)废(fei)金属片(pian)(pian)垂线(xian)于衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)仪有(you)立体(ti)感且沿衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)仪间和(he)监(jian)测(ce)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)直(zhi)接(jie)(jie)的(de)(de)(de)标(biao)签为的(de)(de)(de)摆列，具体(ti)安排在点(dian)监(jian)测(ce)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)末(mo)尾。这套索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)也(ye)喻(yu)为索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)片(pian)(pian)准直(zhi)器(qi)(qi)(qi)、索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)准直(zhi)器(qi)(qi)(qi)和(he)次级准直(zhi)器(qi)(qi)(qi)。散(san)射(she)(she)(she)(she)东(dong)南部散(san)射(she)(she)(she)(she)的(de)(de)(de)X电子束(shu)够(gou)(gou)只(zhi)(zhi)不(bu)(bu)过所(suo)指(zhi)差其他人(ren)标(biao)签为的(de)(de)(de)，却(que)说(shuo)只(zhi)(zhi)是由索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)那肯(ken)定的(de)(de)(de)2q标(biao)签为的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)反射(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)能高达点(dian)监(jian)测(ce)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)。索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)够(gou)(gou)只(zhi)(zhi)不(bu)(bu)过始终坚持什么好(hao)的(de)(de)(de)2θ 分(fen)辩(bian)率(lv)的(de)(de)(de)此(ci)(ci)外又够(gou)(gou)只(zhi)(zhi)不(bu)(bu)过从大(da)占比(bi)计算(suan)(suan)被照(zhao)亮的(de)(de)(de)图(tu)(tu)纸(zhi)建筑适用(yong)(yong)面积计算(suan)(suan)上(shang)寻找(zhao)资(zi)料(liao)(liao)资(zi)料(liao)(liao)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)旌旗灯号。考(kao)量(liang)于索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)长度(du)(du)和(he)之(zhi)中(zhong)(zhong)黑色(se)废(fei)金属片(pian)(pian)直(zhi)接(jie)(jie)的(de)(de)(de)裂(lie)缝(feng)，好(hao)的(de)(de)(de)弧(hu)度(du)(du)分(fen)辩(bian)率(lv)打(da)比(bi)方(fang)0.1°, 0.2°, 0.3° 或0,4°够(gou)(gou)只(zhi)(zhi)不(bu)(bu)过拿(na)到(dao)。Göbel镜必须准直(zhi)水(shui)平线(xian)于衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)仪面的(de)(de)(de)光(guang)(guang)柱。想要撤除支承散(san)发(fa)度(du)(du)，功(gong)率(lv)的(de)(de)(de)在主激光(guang)(guang)激光(guang)(guang)切割光(guang)(guang)路(lu)(lu)和(he)次级激光(guang)(guang)激光(guang)(guang)切割光(guang)(guang)路(lu)(lu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)（图(tu)(tu)里(li)未凸(tu)显）可以像(xiang)Bragg-Brentano许(xu)多中(zhong)(zhong✃)的(de)(de)(de)那么样再(zai)(zai)生利用(yong)(yong)。在参(can)数寻找(zhao)资(zi)料(liao)(liao)资(zi)料(liao)(liao)发(fa)展中(zhong)(zhong)，入(ru)射(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)柱始终坚持什么在稳(wen)固(gu)标(biao)签为的(de)(de)(de)，监(jian)测(ce)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)阅(yue)读仪阅(yue)读想测(ce)试方(fang)法的(de)(de)(de)2q占比(bi)。只(zhi)(zhi)不(bu)(bu)过入(ru)射(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)笼盖(gai)在图(tu)(tu)纸(zhi)上(shang)，所(suo)寻找(zhao)资(zi)料(liao)(liao)资(zi)料(liao)(liao)到(dao)的(de)(de)(de)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)图(tu)(tu)谱还(hai)可以拿(na)到(dao)由索(suo)(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)(xia)(xia)(xia)缝(feng)和(he)阅(yue)读仪阅(yue)读步长草案的(de)(de)(de)2q分(fen)辩(bian)率(lv)。

  ▲ 图(tu)(tu)1. (a)点侦测器GIXRD測試软(ruan)件突(tu)出(chu)突(tu)出(chu)表(biao)现图(tu)(tu); (b)2D侦测器GI💝XRD🌱測試软(ruan)件突(tu)出(chu)突(tu)出(chu)表(biao)现图(tu)(tu)

图1(b)是(shi)有2D侦(zhen)测(ce)(ce)器(qi)的(de)GIXRD的(de)设(she)置成(cheng)技能摆(bai)床。入射(she)(she)散射(she)(she)也(ye)是(shi)平行(xing)线(xian)(xian)(xian)光(guang)。看一(yi)起与(yu)1(a)中(zhong)的(de)入射(she)(she)散射(she)(she)*不(bu)异(yi)，然而点(dian)专注X光(guang)谱(pu)线(xian)(xian)(xian)源、或(huo)固定(ding)的(de)狭缝、或(huo)园孔准(zhun)直器(qi)（未(wei)展现(xian)）拿来要(yao)先拿到点(dian)散射(she)(she)。在(zai)(zai)1个二维(wei꧋)XRD指标(biao)体系建设(she)中(zhong)，衍射(she)(she)的(de)X光(guang)谱(pu)线(xian)(xian)(xian)此外在(zai)(zai)二维(wei)的(de)地域(yu)检测(ce)(ce)，不(bu)索(suo)拉(la)(la)能分配在(zai)(zai)2D侦(zhen)测(ce)(ce)器(qi)后(hou)来。大的(de)星光(guang)照耀地域(yu)散射(she)(she)的(de)X光(guang)谱(pu)线(xian)(xian)(xian)没法被索(suo)拉(la)(la)狭缝随意(yi)挑选(xuan)。相悖(bei)，每件事在(zai)(zai)2D侦(zhen)测(ce)(ce)器(qi)笼盖市场规模(mo)(D2q)内的(de)旌旗灯号被此外采(cai)集。是(shi)以，数剧收罗时延较(jiao)着(zhe)低于点(dian)侦(zhen)测(ce)(ce)器(qi)指标(biao)体系建设(she)，然而2q分辩率较(jiao)着(zhe)下落。

面(mi🎐an)(mian)内掠(lve)入(ru)射XX射线(xian)衍(yan)(yan)射(IP-GIXRD)在(zai)许多文献资料中也通(tong)常(chang)是指(zhi)掠(lve)入(ru)射面(mian)(mian)内衍(yan)(yan)射(GIIXD)或(huo)式共面(mian)(mian)GIXRD。异常(chang)地，衍(y✨an)(yan)射矢量素材在(zai)衍(yan)(yan)射立体图内(y=0)的(de)GIXRD通(tong)常(chang)是指(zhi)面(mian)(mian)外(wai)GIXRD(OP-GIXRD)或(huo)共面(mian)(mian)GIXRD。面(mian)(mian)内和面(mian)(mian)外(wai)GIXRD被(bei)普及广泛用于(yu)表(biao)现原(yuan)辅料外(wai)表(biao)通(tong)常(chang)看(kan)上去，膜和涂膜。根据2D试探器，还(hai)可以(yi)或(huo)者是还(hai)可以(yi)或(huo)者是时(shi)候获(huo)得OP标识(shi)最终原(yuan)因(yin)和IP标识(shi)最终原(yuan)因(yin)的(de)衍(yan)(yan)射讯息。

  ▲图2. 有(you)2D试(shi)探器的掠入射X💧电子束(shu)衍(yan)射(GIXRD2): (a) 国家(jia)标准有(you)许多; (b)面内有(you)许多

图2是设(she)(she)为(wei)的(de)(de)武(wu)器(qi)货(huo)架(jia)2D遥(yao)(yao)测器(qi)的(de)(de)掠入射(she)(she)XX射(she)(she)线衍(yan)射(she)(she)有(you)几(ji)多(GIXRD2)。(a)是试样(yang)(yang)价值取向设(she)(she)为(wei)在y=0°  且试样(yang)(yang)长(zhang)相法向在衍(yan)射(she)(she)仪面内(nei)(nei)的(de)(de)规定有(you)几(ji)多。在y=0°处的(de)(de)试样(yang)(yang)法向是no。2D图像(xiang)上的(de)(de)暗影(ying)中北部（从遥(yao)(yao)测面侧面观(guan)察(cha)像(xiang)遥(yao)(yao)测面是通(tong)明(ming)的(de)(de)）代(dai)表(biao)英语(yu)被试样(yang)(yang)长(zhang)相坚决反对的(de)(de)散(san)射(she)(she)标地(di)依据。对唯有(you)点遥(yao)(yao)测器(qi)的(de)(de)指标体系(xi)或(huo)带2D遥(yao)(yao)测器(qi)的(de)(de)衍(yan)射(she)(she)仪只(zhi)斟(zhen)酌衍(yan)射(she)(she)仪立(li)体图内(nei)(nei)(g=-90°)的(de)(de)衍(yan)射(she)(she)，当(dang)w = q时衍(yan)射(she)(she)矢量素(su)材立(li)式于试样(yang)(yang)长(zhang)相。在此类有(you)几(ji)多里，入射(she)(she)角(jiao)w (q-2q设(she)(she)为(wei)的(de)(de)武(wu)器(qi)货(huo)架(jia)) 或(huo)q1 (q-q设(she)(she)为(wei)的(de)(de)武(wu)器(qi)货(huo)架(𒈔jia)) ，出射(she)(she)角(jiao)aF (界说为(wei)衍(yan)射(she)(she)光线和试样(yang)(yang)长(zhang)相区间内(nei)(nei)的(de)(de)顶角(jiao)) 随g值的(de)(de)修(xiu)改(gai)而(er)转化成:

对(dui)测角(jiao)仪立(li⭕)体(ti)图像(xiang)内(nei)的衍(yan)射(she)光线(g=-90°), 。衍(yan)射(she)矢量素材(cai)和原辅(fu)料(liao)外表面期间的倾斜角(jiao)(aH)为：

对(dui)2q角不(bu)低于测探器尺寸大小笼盖(gai)占比(bi)的(de)(de)图谱，g在2D帧图面(mian)有一(yi)名(ming)大的(de)(de)占比(bi)。是以(yi)，衍射(she)图谱要说(shuo)不(bu)定笼盖(gai)从面(mian)内(nei)(qxy)标(biao)底依据(ju)到面(mian)外(qz)标(biao)底依据(ju)的(dꦏe)(de)一(yi)名(ming)大的(de)(de)占比(bi)。不(bu)异(yi)的(de)(de)数量也应用꧟于为(wei)选取(qu)更优分辩率包容的(de)(de)更长的(de)(de)测探器每(mei)隔和为(wei)消弭文化氛围散射(she)而再(zai)生利用的(de)(de)负压环路的(de)(de)掠入射(she)小角散射(she)(GISAXS)体例。

图2(b) 是(shi)(shi)GIXRD2的(de)面内什么IP-GIXRD2。掠(lve)入射多视(shi)角所经历程(cheng)y逆(ni)转获得。当y靠(kao)着90°时，衍射失量图与试品管(guan)理🌜表皮很(hen)多个很(hen)是(shi)(shi)小(xiao)的(de)多视(shi)角 (= 90° - y当w = q) 。入射꧃光柱的(de)标段(duan)失量图，衍射光柱和试品管(guan)理法线标签(qian)最终(zhong)目的(de)之下：

己知(zhi) ：

爱的那么深入射(she)弯度为(wei)：

出射的(de)视(shi)角aF随g值修改(gai)而(er)形成。都按(an)照(zhao)：

够其实赢得：

总之arcsine指数(shu)函数(shu)的(de)全部二个项都中带负号，本(ben)来aF对反射(she)(she)面(mian)表演形式衍(yan)射(she)(she)是(shi)(shi)正(zheng)是(shi)(shi)。aF为负时表演散射(she)(she)标底(di)目地(di)(di)(di)被土(tu)样长相(xiang)挡住，在2D图(tu)上面(mian)会有个暗影(ying)地(di)(di)(di)。当y离(li)近(jin) 90° (但看不(bu)到90°时)，衍(🥃yan)射(she)(she)环的(de)g 经(jing)营(ying)规模从离(li)近(jin)g=-90°的(de)值起头。比如，当w=30°, 2q=60° 且y=89°时, 掠入(ru)射(she)(she)角aI 是(shi)(shi)0.5°，衍(yan)射(she)(she)激光束在g=-90° 的(de)出射(she)(she)角也是(shi)(shi)0.5°。“亮”地(di)(di)(di)与(yu)暗影(ying)地(di)(di)(di)互相💫(xiang)边防的(de)g值是(shi)(shi)g1»-89.43° ，其次g2 在于于探测器(qi)器(qi)的(de)尺寸。

衍射矢量素材和样件形象(xiang)范围内(nei)的(de)方(fang)向是 ：

对(dui)(w=30°, 2q=60° 且y=89°) 且g=-90°的(de)(de)打样(yang)定(ding)制英文，衍射(she)矢量(liang)(liang)图素材(cai)和(he)打样(yang)定(ding)制英文外层相互之间的(de)(de)交角aH=90°-y=1°。代表于暗影边(bian)境地区(g1»-89.43°)的(de)(de)小aH 角是0.5°。可能掠入射(she)角🍒度看并不能是0，衍射(she)矢量(liang)(liang)图素材(cai)能紧靠(kao)打样(yang)定(ding)制英文的(de)(de)外层，但从在立体空间内(nei)。

设定(ding)靠着(zhe)90°的(de)(de)(de)(de)y完(wan)工面内(nei)前提时(shi)，依靠步(bu)骤诸(zhu�๊�)多2D帧图或(huo)用(yong)2D侦测器复印(yin)机扫(sao)描要或(huo)是测评(ping)大的(de)(de)(de)(de)2q大小。该设定(ding)法(fa)(fa)宝(bao)(bao)虚(xu)设都可以来写出2D衍射(she)(she)数据(ju)报告停止工作相(xiang)阐发，应(ying)变(bian)速(su)率，内(nei)应(ying)力和织构测评(ping)。运用(yong)图2中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(a) 或(huo)(b) 设定(ding)法(fa)(fa)宝(bao)(bao)虚(xu)设，样(yang)品管理上的(de)(de)(de)(de)映(ying)照地(di)方为(wei)一担(dan)误的(de)(de)(de)(de)外貌，创造下调的(de)(de)(de)(de)2q分(fen)辩率，尤为(wei)当写出大斜度(du)的(de)(de)(de)(de)2q衍射(she)(she)图谱时(shi)。面内(nei)和面外的(de)(de)(de)(de)2q分(fen)辩率的(de)(de)(de)(de)具体化阐发能(neng)从规范(fan)学术论文中(zhong)寻得。 

图(tu)(tu)(tu)(tu)2是(shi)差级(ji)别衍射(she)(she)仪(yi)和制(zhi)(zhi)定防具(ju)罢(ba)放自(zi)测的(de)(de)10nm厚的(de)(de)Si片上(shang)的(de)(de)NiSipet塑(su)料膜的(de)(de)衍射(she)(she)数(shu)据库比(bi)。该图(tu)(tu)(tu)(tu)重量(liang)(liang)显示 (a)面外GIXRD制(zhi)(zhi)定防具(ju)罢(ba)放(OP-GIXRD2)搜(sou)寻的(de)(de)2D 图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)。 (b) IP-GIXRD制(zhi)(zhi)定防具(ju)罢(ba)放(IP-GIXRD2) 搜(sou)寻的(de)(de)2D图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)。 (c)是(shi)IP-GIXRD2积(ji)分(fen)(fen)规(gui)则拥(yong)有的(de)(de)1D图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)和国(guo)际(ji)规(gui)格的(de)(de) 0D探测器(qi)器(qi)用 OP-GIXRD1模式(shi)拥(yong)有的(de)(de)1D图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)的(de)(de)比(bi)。可(ke)看而(er)来OP-GIXRD2的(de)(de)衍射(she)(she)图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)很弱导致于蓝色上(shang)箭头标(biao)出的(de)(de)二个(ge)峰比(bi)较难知道(dao)。IP-GIXRD2能在四十(shi)分(fen)(fen)钟(zhong)左右(you)的(de)(de)时(shi)间内（三张一般(ban)都(dou)是(shi)10分(fen)(fen)钟(zhong)左右(you)的(de)(de)时(shi)间的(de)(de)帧(zhen)图(tu)(tu)(tu)(tu)）拥(yong)有大2q数(shu)量(liang)(liang)的(de)(de)强衍射(she)(she)图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pu)(pu)，而(er)国(guo)际(ji)规(gui)格0维衍射(she)(she)仪(yi)搜(sou)寻的(de)(de)衍射(she)(she)图(tu)(tu)(tu)(tu)谱(pᩚᩚᩚᩚᩚᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ𒀱ᩚᩚᩚu)(pu)花了12钟(zhong)头。也许2q分(fen)(fen)辩率有增涨且大环境高，但IP-GIXRD2 依旧会是(shi)停此急速pet塑(su)料膜定性分(fen)(fen)析的(de)(de)好的(de)(de)选择。