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MDP少子寿命测试仪 | 搀杂样品的光导率丈量

更新时候:2023-06-15点击次数:1895
B(硼)和P(磷)的搀杂被适用于微智能产业发展的越来越多灵活运用,但是到欧比奥已经,还不种体例还可以或是不实战备样并所以必须的热处理部骤而演变其优点的生态下查抄这样的搀杂的年均性。到欧比奥已经的坚苦是,搀杂的地区一切但凡几毫米的角度,另外搀杂的含水量很是低。MDP还可以或是以高的分辩率来刻画这样的搀杂的备样,并能很好的地识别差别个搀杂含水量。在这种环境下,光导率或旌旗灯号高速是检查搀杂物中不的平均性的敏感度的性能参数。它在非常大的平均水平上是指于热敏电阻率和绝大部分载流子使用时间自己本身。在MDPmap和MDPingot武器中,要我以为融合4个的差别光的吸光度的激光行业束器。额外,还要我以为用的差其他人电脉冲发生器造成的信号直径关闭勘界,从只用100ns的很是短的电脉冲发生器造成的信号,即不载流子细化诞生,到三个ms的电脉冲发生器造成的信号直径,即载流子细化到原材料的长。是以,所经步骤转移激光行业束光的吸光度和电脉冲发生器造成的信号直径,有要以的差其他人渗进长关闭勘界。

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1:搀杂深度为2微米的P型搀杂剂

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图2:却别P型搀杂浓硫酸浓度下的图纸的光导率仗量常试在这些区域环境下,让我们选取了电磁宽度为100ns的660nm机光器;是以,做完了约莫4μm的阻隔的深度。图1显示屏了测量的Cz-Si样品管理中搀杂的P型搀杂剂,图2显示屏了若何所经操作过程光导率测量来区分差级别搀杂渗透压。


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