对于这种非绞碎性的表面通常看上去神经敏感技术，X 电子束全条件散射层层率（XRR）纷杂主要用于透明膜料厚和粗拙度的表现。 当X电子束的入射角高过临界状态点角时，X 电子束束还可以高斯模糊地散发出进透明膜性能在对话框全条件散射层层。在一理想立体图像上，遵照菲涅耳式子，X电子束的全条件散射层层率以标准单位值升空。另一个，全条件散射层层构造也受透明膜表面通常看上去和对话框的粗拙度关系。納米标准单位数量的粗拙表面通常看上去可因勾引的漫散射而进一大步上升全条件散射层层构造。 是以，还可以通过具体步骤线性拟合折线XRR线性来毫无疑问透明膜表面通常看上去和对话框的粗拙度。同样，表面通常看上去和对话框全条件散射层层光线彼此的干与会在XRR线性上发生的经常性性震荡，即那些所谓的 Kiessig 竖纹。通过具体步骤校正震荡经常性还可以较劲透明膜的料厚，即 . 另一个，散射长宽高比热容（SLD）表现了相关材质 的散射性能，与相关材质 的数学比热容相关的。在 XRR 仗量中，SLD 还可以关系透明膜的全全条件散射层层临界状态点角和Kiessig竖纹的震荡震幅。通过具体步骤线性拟合折线XRR线性，还可以外源得到分块空间设计的比热容参考。图1中得到了图 XRR线性与透明膜空间设计叁数干系。这篇文以相差空间设计的透明膜来说，呈现XRR在透明膜相关材质 空间设计阐发中的控制。 

 

XRR的特点：

1. 高质量检验2. 对试品的心得情況不post请求，但是不管是单晶体膜、多晶膜还快慢晶膜均要立即停止测试英文3. XRR混用于納米聚酰亚胺膜，需求板材厚度小于等于200nm4. 晶各种面膜，本身粗拙度传统不跨过5nm5. 小高层膜相互ajax请求有高密度差 

单层膜阐发-样品：80nmIZO/玻璃（衬底）

本例中IZO膜的想法厚薄时80nm，所经期间XRR身材曲线拟合曲线赢得现在的膜厚薄为73.18nm，如图已知2右图。

图2 IZO薄膜XRR曲线（白色点），拟合曲线（蓝色实线）和成果（右上角）

 

多个膜阐发-仿品：Cu/Ta/Si(衬底)

XRR测量小于当然了各层塑料薄膜的页面布局性能。边部Cu2O是的Cu层氧化反应使得的。

图3 Cu/Ta/Si(衬底)多层膜XRR曲线（白色点），拟合曲线（蓝色实线）和成果（右上角）

 

超晶格

本例中，规则为Si/x(W/Si)/Si（衬底），x=10超晶格透明膜。方便绝对进步后，超晶格的期及出现行业单双层的进步区域环境，支配XRR中断了定量分析，就像文中3。XRR线条美图中，超晶格通讯北斗遥感卫星峰和通讯北斗遥感卫星峰间的干与峰很是较着且均值，声明超晶格透明膜进步均值，好品质很棒。 不了，出色查看超晶格线条美图发觉（图4）：x=10个期的超晶格，虚幻上两通讯北斗遥感卫星峰直接的干与竖条期为x-2=5个巨大值，但虚幻测出只是几个巨大值。声明超晶格期为9，并非虚幻上的10个期。方便进一歩核实和阐发超晶格的调整调整平面布置图，采用再生能源学虚幻，离别时用虚幻的10个期及虚幻阐发出的9个期调整调整平面布置图模具线条拟合XRR线条美图，9个期的模具荣获了很棒的成果展，见表1。声明超晶格表面不进步为全不的期调整调整平面布置图。见表1。声明超晶格表面不进步为全不的期调整调整平面布置图。

 图4 中5.7-7.6°规模的缩小图谱

 

表1 XRR拟合成果

 

图5 超晶格XRR曲线：玄色点：尝试曲线；白色实线：拟合曲线。