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支配微信分(fen)享 | 全固(gu)定(♎ding)动(dong)🎐力电池横(heng)截面的原位 FIB 制作和阐(chan)发(fa)
操纵案例
PHI nanoTOF 有的 Bi 阳亚铁亚铁铝离子源就担当着劣质电磁阳亚铁亚铁铝离子源的脚色,还极具瞄准阳亚铁亚铁铝离子束(FIB)副作用。当液体重金属阳亚铁亚铁铝离子裝备关掉 FIB 行驶时,他会和接间对气体仿品变慢激光切器制作加工制作。对多层电路板设计的全nvme固态电板仿品,传统式的层层广度的分裂体例会遇上用时过长的挑衅。这就是如果当阐发广度的走到μm級別时,层层剥落变慢广度的阐发,一层的都要零丁的剥落和测量, 这很大增加了所有 阐发的进程的时间。其实,PHI nanoTOF 的 Bi-FIB 副作用会和接间对气体仿品变慢激光切器制作加工制作,很大不断增加了仿品制法的时间,在电板素材表网页阐发中讲述了较着的打球和友盒性。以图 1 右图的叠层平面布置全nvme固态锂电样板为例子,PHI nanoTOF 的 Bi-FIB 效率全用~8.3 min 就还可以只不过来顺利完成横断面的邃密加工工艺。更主耍的是,这类效率的样板准备线程与自后的 TOF-SIMS 研究方法无接缝跟尾,TOF-SIMS 对断面的阐发线程全用时~4.3 min(30 frames)。从样板界面显示准备到研究方法整体具体步骤,全都在 TOF-SIMS 设备内来顺利完成,并全流量总耗费只~13 多分钟,这才是传统艺术体例不能呼告的频率。这类效率且友盒的具体步骤不使讨论审计员还可以只不过只不过急速的抨击锂电样板“由表及里"的微观世界性能。图 1. ASSB 布局(左)和 FIB-TOF 任务(右)的表示图
图 2. 固态电解质/阴极 FIB 横截面的 TOF-SIMS 表征
PHI nanoTOF 通过任务管理器 FIB-TOF 完成任务了对全固体电芯表/工具栏显示的魔鬼司令分析方法,这这样不仅揭开了固- 固工具栏显示外部经济变化的底部身体,会为回落工具栏显示内阻的市场策略市场均衡了基本的支招。其他,该学手艺对 表/工具栏显示外部经济任务管理器的全工作方面分析方法将助于发展全固体电芯的控制竞争力,合为很好的高身体全固体电芯的建设新工艺、回落资本、一键化产于等市场均衡不一样的态度。瞻望那么将来,PHI nanoTOF 将与泛博的教学科研学家戮力并举,协助鞭策自己新干劲家庭财产的鼎力成长期。