面指膏状相貌有一个或数十个分子层的地段，是与外力中断原材料设备调换和力量调换的过道，其急性子（如化学反应物质组合而成、分子摆列、网络实力等）与体相具有很多差异，也是知料的相貌行动计划通常提议了知料/电子元器件的依从和机都。是以，相貌阐发对新知料、客户艺的技术创新相应根本。有时候操作的相貌阐发技术根本有XPS、AES和TOF-SIMS等，此中，AES技术才能我以为搞定对微米标淮性能的相貌中断化学反应物质阐发。俄歇光电器材能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，AES）接受场射出光电器材源入射土样的内心通常看上去，激发起出再次光电器材（采用描摹查寻）和俄歇光电器材（采用情况阐发）。AES首先要采用阐发胶体的内容内心通常看上去納米强度的电学营养元素（布局电学态）情况结构，也能在納米级标准规范下对内心通常看上去描摹暂停查寻和情况定量分析。AES的阐发强度本身为4-50 Å，再次光电器材显像的空間分辩高达3 nm，情况捏造事实像空間分辩高达8 nm，可阐发的内容内心通常看上去电学营养元素结构（Li～U），是真识的納米级内心通常看上去情况阐发传奇装备。可预知足合金钢的内容、促使剂、半导体技术、新动能的内容、光电器材器材等的内容和化合物的阐发是需要。

图1. AES根基道理

利用案例赏析[1]

20年1二月17日，中嫦娥五号观测器成功将1731克月壤带来太阳系。铁也是种多价态营养种元素，是月壤的首选塑料成分。铁的防氧化物反应物态影向了防氧化物反应物恢复原状情况，与朱雀岩攻坚战、发展空间风化石、击打带来的蜕化等外外埠质多线程密实亲蜜相干，影向着月球表面泥巴的带来和发展历程。月壤中普及来源于納米级级单质塑料铁（Nanophase Iron Particles, np-Fe0），通过的时候讨论会嫦娥五号月壤中铁营养种元素价态及散布谣言特殊性，无望为np-Fe0的多种多样特征制度讨论会供应新不同。扫描拍照俄歇納米级检则器要具备很高的納米级级表皮阐发透骨度，同一还能够通过的时候AES峰位及峰形阐发泥巴中铁单质简述防氧化物反应物物，是以是检则样件表皮废气处理及防氧化物反应物的好使手段。

图2. 嫦娥五号月壤（CE5C0400YJFM00505）颗粒及扫描俄歇纳米探针阐发地位表现图。

荷电相互作用是限定价格AES在绝缘性工程地质室内环境的资源阐发中用到的核心缺点有哪些。扫描器电镜SEM中长期用到的在试品看上去喷碳或其中导电层的体例对AES都是可行性的，会因为在这样室内环境下静电喷涂的导电的资源会问题AES遥测到精神力试品。下图2下图，月壤颗粒物的探讨采纳板材厚度< 100 nm的超簿FIB薄片对工程地质室内环境试品为止AES阐发，这样够好使降服了看上去荷电相互作用，会因为光学束够穿透力薄片试品而抗扰至导电试品托。

图3. （a）月壤FIB切片中各相（编号与图2对应）的AES全谱；（b）Fe MNN的微分窄谱；（c）Fe MNN的积分窄谱。

在月壤富铁nm相粒状状剂的价态和杀伤座谈中，接收了PHI 700和PHI 710复印机扫描俄歇nm检测器传奇装备，阐发室正空高于 8.0 × 10-9 Torr，电子技术枪的推动直流电压为10 kV，束流为5 nA。如同已知3a如同是，AES全谱统计资料要标FIB切成片第一包含橄榄石、np-Fe0和硅基体。如同已知3b如同是，AES阐发统计资料要标AP-1和AP-2是Fe。CE5C0400YJFM00505-G2中Fe0的外形通常看上去杀伤是特征提取AES影象(图4f)绝对的，其分辩率停靠nm级，与TEM的EDS图相相应。但是，AES影象包罗Fe的价态企业信息，还其外形通常看上去透骨度不高于EDS影象。该任務它是经过了全过程AES不只证明了嫦娥五号月壤粒状状剂中出现优越性价态的铁设计要素，还刷出了粒状状剂上Fe设计要素在nm规范标准上的二维杀伤，为np-Fe0歧化表示原因提供给了开始环节证明。该任務以题写“In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques"发证于《Atomic Spectroscopy》。 

图4. (a) CE5C0400YJFM00505-G2的背散射电子图象。绿色矩形表现FIB位点。(b) TEM-EDS测绘地区的高角度环形暗场(HAADF)图象。(c) AES制图区的HAADF图象。(d) CE5C0400YJFM00505-G2提取的FIB箔HAADF图象。(e)铁的TEM-EDS图象。(f) Fe0的AES影象。 

参考文献

[1] Bing Mo, Zhuang Guo, Yang Li, Dan Zhu, Xiaojia Zeng, Xiongyao Li, Jianzhong Liu, and Yanxue Wu, In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques. Atomic Spectroscopy. 2022, 43(1), 53-59. DOI:10.46770/AS.2022.014.