XRR是甚么?

XRR都是种便利店、急速的阐发一层或很四层透气膜和外表面的体例，都是种纳米级标上的阐发体例，与此同时可达到无损音乐阐发。比喻，沿途的时候原子结构层堆砌物(ALD)工艺堆砌物的透气膜要能用XRR表现透气膜的重量、硬度和接面的粗拙度，一般也混用于另一个体例配制的透气膜，如沿途的时候份子层堆砌物(MLD)堆砌物的高分子/高分子超晶格。与光学玻璃材料反应椭偏法差別，该体例不需要当场学透透气膜的光学玻璃材料反应大大咧咧，不需要假定透气膜的光学玻璃材料反应大大咧咧。因为，XRR没办法提供相关的材料晶状体结构的个人信息，且很四层膜只是在无限升级的长度内表现。

XRR概括理的成语先容

XRR阐发要在多晶体和非晶个人信息长中断，当X放射性元素以掠入射坡度照到个人信息三维3d立体上时，在某一个相应坡度下也会进行全散射影像，这家角很是小，称做临介点状态角（θc）。坡度的更改决定于于个人信息的体积。入射X放射性元素的坡度可以说临介点状态角越高，X放射性元素散射到个人信息中的坡度就越重。多对外谎称表远大抱负平展的个人信息，散射率的的程度在跨越式临介点状态角的坡度以θ-4的百分比陡降。在XRR阐发中，X放射性元素源供应者高亮显示度的X放射性元素束，以很是低的入射角从三维3d立体散射。XRR体制精确测量在雾面标有原则散射的x放射性元素的的的程度。倘若是层与层中间的介面或层与衬底中间的介面，不只是很锋利度和檀口，这麼散射的的程度将背离菲涅耳散射率热力学定律（the law of Fresnel reflectivity）所预计的的的程度。然后要阐发X放射性元素散射精确测量的偏差，以提供与表层法向的介面体积剖面，同时依靠操作过程技术专业pc软件3D建模、曲线拟合阐发来应该膜层规格，体积和介面粗拙度。

▲Figure 1: Schematic view of X-ray reflection for cases when the incident angle is lower and higher than the critical angle, θc.

▲Figure 2: Simulated XRR profile for a single layer system. The critical angle (determined by film density) and Kiessig fringes (determined by layer thickness) are observed

XRR优点高精确度的贴膜料厚和密拥抱测
量(liang)测薄膜或界面粗拙度

XRR样品管理提起

的外表滑润、平均值的仿品（roughness < 3~5nm）笔直X电子束标必要性，仿品直径最多3-5mm

XRR利用分享（一）

本合理借助范本中，人们在布鲁克最火款式主屏幕衍射仪D6 PHASER上对钨溥膜开始散射率合理借助阐发。新款上市D6 PHASER主屏幕衍射仪，通过的历程 格外短每隔前激光切割机的光路建议情况成平行线光，相互调节整打样定制外表通常看上去法线标志基本原则及准确定位的通用性打样定制台，做完应对打样定制的XRR的侧量。合理借助中可应对打样定制范本选购专为溥膜打样定制开拓了的弹簧片台或真空环境吸台。任何人具高记数组织形式的LYNXEYE系探测系统器都能够知足测验英文需用。除此之外，通过的历程 调理改善点光限定价格标准，可做完不断进步仪器设备分辩率，有的用回落测验英文游戏 背景。

▲Figure 3: FFT analysis in DIFFRAC.XRR of the W thin film

本例中XRR检验是也不利于铜发送片情况下，从太低想法便可起头检验（如0.2°或0.1°）。并非在勘界的静态式的整体规模巨大的情况下需用利于发送器。与民俗的XRD测量仪器对比，D6 PHASER中的旌旗灯号拿到了较着大力加强，勘界时期更短，细竖纹继承的那时候长，勘界的那时候约为不少钟。勘界信息被导成到布鲁克建立的阐发工具DIFFRAC.XRR中，工具可实现归一化处治，将信息归并给双信息集。并且，利于FFT插件下载是可以快速估量薄膜和珍珠棉的规格。该阐发转化成了突发与细竖纹小图案时期性绝代表的的规格峰的信息的要求(图3)。对于本例子中的检验印刷品，是可以看出到21.2 nm处的单峰。

▲Figure 4: Measurement geometry for X-ray reflectometry in the D6 PHASER

要为越深上帝开掘测量数据源显示文件包罗的个人信息，认真履行职责数据源显示文件拟合曲线操控(图5)。使用质料数据源显示文件库极速融合样版，其志常用对数据源显示文件认真履行职责回馈处理。徘徊里要伟大的发明除衬底和聚酰亚胺膜外，Si和W相互之间和W长相还会存在网页层。D6 PHASER及DIFFRAC.XRR是停此pe膜全反射率阐发的两个工具。DIFFRAC.XRR利用绿色能源学散射实际上的停掉了切确的摹拟。辨别是非小的二乘法对样件模板数值(层厚、粗拙度、密度计算公式)停掉调优，使XRR曲线曲线拟合曲线与测评数值曲线拟合曲线。试用进献，如实验仪器分辩率、蓝本被组合，以正确地描定勘界。快速变了的曲线拟合曲线优化算法确保安全生产了收敛性性，并提供了靠得下的效果。

▲Figure 5: Fitting analysis of the W film data in DIFFRAC.XRR. The sample was constructed using the materials database then regression was performed. Additional layers were added to fit the density profile of the film