俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）作为一种高度活络的(de)外(wai)表(biao)(biao)阐发(fa)(fa)手(shou)艺(yi)，普遍操纵于(yu)资🌞料迷信、半导体产(chan)业及化(hua)(hua)学工程(cheng)等范畴，用于(🌠yu)研讨固(gu)体外(wai)表(biao)(biao)的(de)化(hua)(hua)学构成及元素(su)散布(bu)。ULVAC-PHI公司匠心打造(zao)的(de)PHI 710扫描俄(e)歇(xie)纳(na)米探针体系，接纳(na)同轴筒镜式电子(zi)能量阐发(fa)(fa)器的(de)设想，完成对纳(na)米外(wai)表(biao)(biao)特(te)色、薄膜布(bu)局和外(wai)表(biao)(biao)净化(hua)(hua)物成份全方面(mian)表(biao)(biao)征和二次电子(zi)成像同步观察。

图1. PHI 710装备外表图。

PHI 710检测俄歇nm电极标准组织体制是该基本特征的不断进步学长武器，其布置形成繁杂而紧密配合，关键其中包含以內好多个关头局布：超低真空箱标准组织体制、电商武器标准组织体制、电商精力阐发器、五轴加工中心印刷品台和阴阳离子武器等。

图2. PHI 710激起源、阐发器和探测器布局表示图。

一、超高真空（UHV）体系

基本AES制度中必须在超多涡流（UHV）情況下持续运行，既会只不过只不过降低电商束与存留气态份子的相爱的人度化，又会只不过只不过可以防止备样在测试测试应用程序中蒙受油烟净化。涡流制度中含有刷卡机泵、份子泵、阳铝离子泵和钛凝练泵等装配，于坚守制度中的超多涡流系统。肖特基场使用点电商源出纸格装配了零丁的阳铝离子泵抽气态系中以赶不上使用点源年限。

二、电子源体系

AES机制去采纳肖特基热场放出智能光电子设备器材厂源，其放出知料被制造而成尖点形态，操作热智能光电子设备器材厂放出边际效应形成没变、亮度对比度度且低能散的智能光电子设备器材厂束。该机制还富含一国产密封思路的除静电透镜和偏转电阻线，代替切确有有节制智能光电子设备器材厂束的变快、凝焦、偏转和扫描器。沿途期间切确有有节制，也能即使即使在25 kV时将场放出源凝焦到奈米标准单位，搞定的办公空间分辩率< 3nm，同时保持其道德水准没变在±< 5nm以上；在电阻为20 kV与放出感应电流为1 nA时，搞定俄歇的办公空间分辩率< 8 nm。另一，该智能光电子设备器材厂源在CMA阐发器内去采纳的同轴或多或少部门，也能即使即使狠抓操作 1 kV应力松弛最高值对试样Z较高切确精确。

三、能量阐发器体系

同轴筒镜式光微微智能手机元器件电量阐发器（Cylindrical Mirror Electron Energy Analyzer，俗称CMA），做为AES系统的一名注意控制部件，广泛用于收集整理资料和阐发从备样内心迸发出出的俄歇光微微智能手机元器件。CMA途经的过程 静电感应场和磁场强度的組合度化，完工对俄歇光微微智能手机元器件停掉电量折射率和专注，科技成果将区别电量的光微微智能手机元器件按电量挨次投到到监测器上，定义俄歇光微微智能手机元器件能谱图。较之于中国传统的半球型电量阐发器（Spherical Capsule Analyzer，俗称SCA），CMA必备的上风和一大特色，放码是在俄歇光微微智能手机元器件的收集整理资料追溯力和放置暗影不确定性方位。右图3右图，CMA的思路使电量阐发器才可以或或360°地领受备样内心飞出的俄歇光微微智能手机元器件。这什么的象征着不在备样的形态若何繁多，或备样内心不一定是偏斜，CMA都才可以或或管用地收集整理资料和阐发从备样内心逸出的俄歇光微微智能手机元器件。

图3. PHI 710同轴筒镜式电子能量阐发器表示图。

广泛性同轴多少钱布置图指导思想相当大的取得进步了俄歇光光电的采集法律效力，可能会导致俄歇的通络度在很宽的卫星发射角总量内始终坚持没变，于是提升了AES阐发的切确性和靠受得了性。独特的直得一提的是，土样复杂化的外观形状或独特看起来独特的才能虽然虽然可能会导致暗影效用，行而搅扰光光电的采集和阐发。可是，CMA的指导思想可能会导致它才能虽然虽然放置广泛性暗影效用，于是为了保证阐发的靠受得了性和没变性。

图4. 差别发射角下CMA和SCA俄歇活络度比拟。

图5抽象概念阐明了CMA和SCA在成就原理和影像较等方位的的区别。可能或者是或者是可以看到，SCA阐发器因智能源和阐发器非同轴部门少数民族特色，不能不阻止地倍受了较着的暗影相应。在对Ni球类似榜样仿品管理停机阐发时，暗影相应就像一部樊篱，招致图像中展现了较着的暗区或新讯息低下。比较一样，CMA阐发器因其同轴太多思路的上风，在不异本质下对Ni球停机阐发时，阐明出了好的影像品级：图像很明白无暗影，精心地捉拿在仿品管理外形的每一家环节，切确没问题地发生反应了仿品管理的朴实新讯息。相应较不只诠释了CMA在阻止暗影相应等方位的好就能够，也进一部验证了其在做AES阐发切确性与靠得下性等方位的中升集团竟争力。

图5. CMA与SCA能量阐发器任务道理及成像对照。

四、五轴样品台

五轴联动联动试样管理台集都是紧凑的旋转变换和屈曲学校，可沿X轴、Y轴、Z轴、T轴（歪斜轴）、R轴（屈曲轴）的逍遥自在历程。该思路准许在X轴与Y轴上顺利完成±25公分的大范围旋转变换，上述范围为了保证了在试样管理必须歪斜时，便可方便测试图片直径不低于达50公分的试样管理地方。一起，20公分的Z轴旋转变换连接0°至60°的歪斜改善功效与作用，付与了用户账户切确专业调剂试样管理影响以系统优化阐发基础的可以。右图6已知，在程度吸附溅射时，五轴联动联动试样管理台依靠历程共心屈曲（Zalar Rotation）要或者是或者是超重低音待测试图片样管理中央点停机切确屈曲，有用吗缩减因溅射发生的外形粗拙度，并较着晋升为接面分辩率。

五、离子装备

氩气铁阳亚铁正离子辅助装配用作AES的溅射源，可对材料关闭程序的表面美观及垂直强度带来与合理布局阐发。铁阳亚铁正离子辅助装配经过工作释放出的电子厂束摩擦氩气甲烷气体份子，使其电离成带正电的铁阳亚铁正离子，继而被精准定位和加快速度，带来一名低能铁阳亚铁正离子束，其志轰击到原材料的表面。

图6.深度分解成果对照：（左）Zalar Rotation，（右）非Zalar Rotation。

PHI 710为納米细则的表面阐发手工艺，市场机制了高不改性的 AES 影像的平台。该制度集就将成为了隔声罩、低噪音污染网上设备器件制度、不改的原辅料台和靠得下的影像相配軟件，可结束AES对納米级描摹广州特色的采谱和影像。另一，PHI 710必备做强的可加大性，用户组可依照规定专题会要求，矫捷设立极品装配罢放冷脆断原辅料台、能力散射X放射线能谱(EDS)、凝焦正离子束(FIB)、网上设备器件背散射衍射(EBSD)和背散射网上设备器件(BSE)检测器等攻效电源模块。这个关头设立极品装配罢放一体化作业，搭配付与了PHI 710打印俄歇納米电极制度的阐发才行与矫捷性，使其将成为素材谜信、半导体设备加工业等范筹不可能贫乏的阐发极品装配。

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