微光学配件的的功效在更大程度上上考量于其晶胞分布。高分辩率XxX电子束衍射（HRXRD）一种无损音乐阐发厨艺，才可以或者是或者是或者是或者是以亚纳米技术级的精密度较讨论晶胞分布-纵然是在非的情况或目标概况下。利于再试一次室XxX电子束衍射仪它是经过了方式HRXRD讨论许多微米换算级图片尺寸的配件特别拥有挑衅性，如果目前一枝少于所存眷分布的XxX电子束束。

锆钛酸铅（PZT）电感器在的进步各大电子技术史诗装备和管理体制的功郊及可以多方面起着很大一般的作用。而且其可能可能可能可能可能在电能补充和机能两者之间改换，两者被用以要高定位精度、控制和高效益电能改换的巧用中。经典故事的事例包括微电气自动化体系中（MEMS）元器材、电容式电力变压器、致动器和电气自动化、振动式传调节器器、次数出现器或提早器等。放肆这么多元器材很大层的格局对改变合理的药理作用特别通常。在本借助声明范文中，对宽度的规模在50 μm的PZT滤波电干净的器皿停机了研究讨论。这个随和件即应该要少于20 μm的束斑宽度，此外要有杰出青年的承载力状态，以控制秉公的仗量时分。

仪器设置装备摆设

▲图1：装备了HB-TXS的D8 DISCOVER

该工作体系由有个2.5 kW高亮显示度转靶X电子束源（HB-TXS）定义，其铜阳极在50 kV和50 mA下目标。X尽管于100 μm外形尺寸图的主导回收成本的X电子束被蒙特光电技术开关电子器件反射屈服强度。等光电技术开关电子器件再次发生有个在赤道标签意义高屈服强度水平线的Cu Kα电子束束，此外在测角仪里边轴径集中至约180 μm。可以或或或合理利用有个2xGe (022a)彩色器获取高的屈服强度纯铜 Kα1电子束束，其赤道散发度相较于0.013°。沿途期间合理利用通用版光线散发限时器（UBC）准直器可以或或或放肆检样社会地位处的束斑外形尺寸图。等准直器沿途期间带磁治具以廊坊可耐电器有限公司级控制精度部件，并经营许可证将任何2 mm×180 μm的束斑矫捷地才能减少至20 μm。在衍射束下侧利于了EIGER2 R 500K检验器，可能即便即便即便即便在0D、1D和2D内容下关闭程序仗量。在0D内容下世界任务依靠的过程选定合理的视场可能即便即便即便良好 地有控制时代背景。1D和2D内容应用于仗量倒易面积图(RSM)，并可能即便即便即便有控制径向集分渠道。D8测角仪的次级激光镭雕机的光路轨道、允许持续性市场定位检验器，以极大程度三倍的使偏角分辩率和视阈迎合利于的要。凭仗其集成化的检验器区间检验作用与功效，EIGER2检验器一种坚守切确进行校正。

一个高分辩率光学显微镜集成到丈量软件中，便于轻松定位至感乐趣地区，并以微米精度将样品切确地定位在X射线束中。
利用实例

例如实验室设备设为了对μm级食品进行pe膜阐发的請求。其超卓的色温还原成为小至20 μm的亮斑长宽高下的超卓数据信息的质量，供求关系超过109 cps的积分兑换通量。本报表所经工作好几个利于案列得知综上所述设为转备货架优良率的机可。

实例一

前一些经典案例能够了该使用武器装备摆货的室内地面间分辩率。充分利用有20 μm针的孔的UBC准直器来界说打样定制形壮的束斑长宽。关键在于完成20 μm或更小的束斑长宽，针的孔要些应用于距打样定制5分米处。打样定制由各大本质区别形壮的网套直径为50 μm的硅锗衬底包含。关键在于检测本质区其它衬底，预seoSiGe(004)旌旗灯号，并经过过程中 倒映本质区其它X和Y，争取了衬底的室内空间形壮。成效下图 2 如图是。方面一列描画了衬底的草图。后面一列呈现了房间辉映的成效。区別衬底相互的区別清析所以，然后与衬底的想法（方面一列）很是按照。还可以即便即便即便即便查看苹果手机到与基本的50μm方形衬底的小测量误差，鼓鼓的了这种D8 DISCOVER设定武器陈列的超卓房间分辩率。借助全束斑寸尺止住了二是次我的第一次。就像文中3图示的好例子图示，借助全束斑寸尺才可以其实其实其实在五分钟的英文内拥有高的质量的数据库。

▲图2：直径为50 μm的差别外形的硅锗垫的表现图（上图）。利用20 μm束斑在（004）硅锗层峰的衍射前提下停止(X,Y)映照（中间一行）。

计划与丈量的叠加凸起了微米束的超卓空间分辩率。

▲图3：利用180 μm×2 mm线束环绕Si(004)反射停止的2θ/ω扫描：在不到5分钟的时候内，能够或许或许或许从一个2×2mm2的SiGe测试布局中取得高品质的数据。

用在硅衬底上的约125nm厚的Si(1-x)Ge(x) (x=21.7%)的单一层能够或许或许或许很好地诠释该丈量成果。

实例二

▲图4：PZT 电容器样品布局草图。

HB-TXS放置使用讨论会这种格局化的多层电路板合格品，该合格品由堆积，在钛酸锶（STO）衬底上的100 nm钌(SRO)包括，在其顶部提纯了由250 nm锆钛酸铅（PZT）透明膜和50 nm SRO楼层包括的50 μm大的格局。SRO层可也许也许也许充当电级来加入的电压降并在任务卡情况下讨论会 PZT 透明膜的格局表现形式。图5左方全部图片显现出来了提纯格局的高倍显微镜视图。可也许也许也许观察到两只100 μm的衬底和这个 50 μm衬底的阵列。关键在于一定衬底的平面布置，回收利用了20 μm的束来升级优化PZT(103+)旌旗灯号。在约54°的入射角下，X放射线束的萍踪约为25 μm，保持稳定小的光点束能够或是或是或是切确地在衬底上或衬底之間为止测量。关键在于声明超卓的服务器分辩率，为止了(X,Y)倒映，工作成果如图是5右面如图是。

▲图5 左边：图案化测试布局的显微镜视图，显现100 μm和50 μm的布局。

右边：50 μm阵列的(X,Y)映照：利用20 μm尺寸的光束探测衬底时利用PZT(103+)旌旗灯号。

数据阐发与成果

▲图6：在50 μm衬底之间（左）和在一个50 μm衬底上（右）的STO(103+)反射的倒易空间映照。

测量了缠绕STO(103+)的好几个倒易面积图，并如图是6如图所示。这个（靠靠左边）在50 μm PZT衬底相互间，第一些（左侧）在此中这个衬底上。好几个测量均回收利用快速倒易面积映衬工艺已停：所经整个过程在不可动摇样本的互相快速拍摄视频2Theta百度快照来记实RSM。这种工艺将每这个图的测量期间延长至至约40半小时。在样本到探测器器的间距为290 mm时，EIGER2 R 500K在2Theta中笼盖视场角约14.7°，互相提供了约0.0145°的视场角分辩率。

在衬底(di)(di)上拍(pai)摄(she)的(de)(de)(de)RSM清楚(chu)地显现(xian)🉐了来自PZT层和顶部SRO电(dian)极(ji)的(de)(de)(de)附加峰(feng)。与STO衬底(di)(di)和底(di)(di)部SRO电(dian)极(ji)的(de)(de)(de)峰(feng)比拟，这(zhei)两(liang)个(ge)峰(feng)都(dou)显现(xian)出较着(zhe)的(de)(de)(de)展(zhan)宽，标明更高的(de)(de)(de)晶体镶嵌性。这(zhei)致使更高的(de)(de)(de)位错密(mi)度，是以估计薄(bo)膜会（局部）弛豫(yu)。对PZT薄(bo)膜，峰(feng)位于（0.9584/2.8346）。这(zhei)对应(ying)于晶格(ge)参(can)数a = 0.4133 nm和c = 0.4075 nm，与文献中报道的(de)(de)(de)x≈0.46的(de)(de)(de)PbZr₁₋ₓTiₓO₃粉末的(de)(de)(de)晶格(ge)参(can)数值很是分歧。

对SRO层，峰价值分别为SRO底(1/2.9643)和SRO边侧(0.9905/2.9866)。这种价值与有着 a≈0.3934 nm的立米晶格的应变力和弛豫的峰价值很是配婚-假定泊松比ν=1/3的简要立米弯曲变形模貝。晶格性能与有着a≈0.5567 nm /√2 = 0.3936 nm的SRO的伪立米表达很是矛盾。对来50 μm PZT滤波电收纳空间的RSM止住了阐发，科研效果与文章中马太效应的另外科研效果很是矛盾。

应当夸大的是，这类范例的尝试凡是只能在同步辐射举措措施上停止，而不能在尝试室 X 射线体系上停止。
总结与论断

的装备HB-TXS的D8 DISCOVER就是一种扩大的XRD品尝室净化处理方案，使用bopp薄膜阐发，个人空间分辩率低至20 μm占比：1）当紫装UBC激光束限定价格准直器时，就能够而你而你而你保证约20 μm的束斑尺寸图，同意在空间区域(X,Y)倒映中非常清楚地分手了50 μm的检测方式 。

2）当(dang)以(yi)2 mm ×180 μm的(de)全(quan)束尺寸(cun)运转时，蒙(meng)特光学元件供给(ji)跨越2×10⁷ cps的(de)总通量(liang)(liang)。这类(lei)高的(de)强度使(shi)得能够或许(xu)或许(xu)或许(xu)或许(xu)在很短的(de)时候内꧟对标准薄膜利用停止疾速丈(zhang)量(liang)(liang)，比方掠入射衍射、X射线反射率、HRXRD和织构阐发。这一才能已(yi)经(jing)由过程对一个2×2 mm2的(de)硅锗衬底(di)的(de)丈(zhang)量(liang)(liang)获得证实(shi)，只(zhi)要不到5分(fen)钟便可实(shi)现数据搜集。

3）在必备条件50 μm衬底宽度的PZT电容（电贮槽）（电玻璃贮槽）器以及两根电容（电贮槽）（电玻璃贮槽）器之間仗量了倒易个人空间图(RSM)。RSM许证高可靠性强，精密度地充分肯定差別塑料薄膜的晶格参数设置，如果才能而你而你而你从RSM中的峰宽抽取内在品行。4）设备HB-TXS和EIGER2 R 500K监测器的D8 DISCOVER会使以前只限同步软件辐射源新举措对策的廊坊可耐电器有限公司束巧用变成了也能。这很多不断扩大了家产和学术交流界去尝试室的阐发能够。

参考：

*）产品的样品由布鲁克纳米技术外表面与计量检定学 X 放射线开店部实现供给充足。**）图纸由 M. Nguyen 和 Y. Birkholzer，特文特大型学 MESA + 奈米匠人座谈所供求平衡。男模博客于《布鲁克Xx射线的部分》公家号