按照微辨别析才能和数据处置体例，二次离子质谱仪可分为哪几种范例？

更新时候：2025-03-17

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　　按照微辨别析才能和数据处置体例的差别，二次离子质谱仪可分为以下几种范例：

　　1、非成像型离子探针

　　特色：首要用于对侧向平均散布样品的纵向分解或对样品最外外表层停止出格研讨。

　　操纵处景：合用于对样品特定地区的元素构成和布局停止阐发，比方对资料某一深度处的元素散布环境停止检测。

　　2、扫描成像型离子探针

　　特色：操纵束斑直径小于10μm的一次离子束在样品外表作电视情势的光栅扫描，完成成像和元素阐发。

　　操纵处景：能够或许取得样品外表的元素散布图象，对研讨样品外表元素的平均性和散布纪律具备主要意思，经常利用于资料迷信、地质学等范畴。

二次离子质谱仪

　　3、间接成像型离子显微镜

　　特色：以较宽（5～300μm）的一次离子束为激起源，用一组离子光学透镜取得点对点的显微功效。

　　操纵处景：能够间接察看到样品外表的微观布局和元素散布环境，供给高分辩率的外表图象，有助于深切领会样品的外表特征。

　　4、静态二次离子质谱（SSIMS）

　　特色：接纳流强较低的低级离子束，轰击仅影响外表原子层，对样品的毁伤可疏忽不计。

　　操纵处景：合用于对样品外表敏感的阐发，如生物样品、无机资料等，能够在不粉碎样品的条件下取得外表信息。

　　5、静态二次离子质谱（DSIMS）

　　特色：利用流强较大的低级离子束，将样品原子逐层剥离，从而完成深层原子浓度的丈量。

　　操纵处景：经常利用于对样品外部布局和元素散布的研讨，出格是在半导体产业中，可用于阐发资料的分散层和杂质散布。

　　差别范例的二次离子质谱仪在微辨别析才能和数据处置体例上各有特色，可按照详细的研讨需要和操纵挑选适合的仪器范例。

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