产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(🔯qi)(qi)是(shi)质谱仪(yi)的(de)(de)最(zui)主(zhu)要部(bu)位，建(jian)在(zai)铝(lv)阳阴阴离(li)子源(yuan)和的(de)(de)检测(ce)仪(yi)之間，其(qi)功效与(yu)作用(yong)是(shi)将铝(lv)阳阴阴离(li)子源(yuan)中(zhong)引发(fa)的(de)(de)备(bei)样(yang)铝(lv)阳阴阴离(li)子按质荷比（m/z）中(zhong)断和男朋友分手。双重(zhong)凝焦腾(teng)飞时刻产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(qi)(qi)(TRIple Focusing Time of flight,简称为(wei)(wei)TRIFT)是(shi)ULVAC-PHI的(de)(de)TOF产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(qi)(qi)。自198七年使用(yong)TRIFT产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)TOF-SIMS配备(bei)商用(yong)厨房一来(lai)，ULVAC-PHI🃏现已将其(qi)采用(yong)于多(duo)代TOF-SIMS货物中(zhong)。颠末二十几年的(de)(de)延用(yong)优化网络与(yu)更新，TRIFT凭仗其(qi)宽(kuan)通能、高景深和不大2次铝(lv)阳阴阴离(li)子领受(shou)角(jiao)等稀(xi)奇古(gu)怪工作设想，已然为(wei)(wei)如今全球(qiu)器(qi)(qi)(qi)能很(hen)超卓的(de)(de)外部(bu)SIMS产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(qi)(qi)一个(ge)。本款型优秀文章将先容TRIFT产(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)性(xing)(xing)(xing)量(liang)阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)升(sheng)级(ji)线(xian)程池、工作原(yuan)理举例(li)匠人独具(ju)特色。

一、弁(bian)言

在先容TRIFT好(hao)品质阐发器已经，你(ni)们扼要(yao)回(hui)想(xiang)了解TOF-SIMS的之(z💮hi)基启示(shi)：根据(ju)输入(ru)脉(mai)冲(chong)一些(xie)阴(yin)正阴(yin)阳(yang)离子(zi)束轰(hong)击备样样貌(mao)，可激发出重新阴(yin)正阴(yin)阳(yang)离子(zi)。在添加(jia)静电场的感召下(xia)，特殊正负极的重新阴(yin)正阴(yin)阳(yang)离子(zi)被快速，其人体脂(zhi)肪(fang)干系有以(yi)下(xia)：

式(shi)中：Eki♋n为(wei)第再次阴阳铁离(li)子的(de)动量，V0为(wei🗹)获(huo)取工(gong)作电压，e、m、v分离(li)为(wei)第再次阴阳铁离(li)子所需自由电荷数、的(de)品质和传(chuan)输速率。

这四次꧂(ci)铝阳(yang)阳(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)合(he)物(wu)经(jing)拆分磁场(chang)推动后，会(hui)被(bei)付与不(bu)异(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)势(shi)能，并被(bei)加入到耐用(yong)漂移的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)长度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)TOF品性(xing)(xing)(xing)阐发器(qi)中(zhong)。在展(zhan)翅每隔(ge)不(bu)稳定性(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基本前提下(xia)，却(que)别(bie)品性(xing)(xing)(xing)数的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)四次(ci)铝阳(yang)阳(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)合(he)物(wu)高达试探器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)展(zhan)翅时(shi)间产(chan)生却(que)别(bie)⛎：品性(xing)(xing)(xing)数较(jiao)小的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)四次(ci)铝阳(yang)阳(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)合(he)物(wu)波特(te)率还是比较(jiao)快的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)，展(zhan)翅时(shi)间较(jiao)短；品性(xing)(xing)(xing)数最大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)四次(ci)铝阳(yang)阳(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)合(he)物(wu)波特(te)率很慢，展(zhan)翅时(shi)间较(jiao)长。是以，经(jing)过(guo)线程池精确测量四次(ci)铝阳(yang)阳(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)合(he)物(wu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)展(zhan)翅时(shi)间能自然其质荷比，详解下(xia)面如下(xia)图所(suo)示：

式中：t为多(duo)次(ci)正(zheng)(zheng)阴阳(yang)(yang)离子(zi)(zi)的展(zhan)翅时间；L0、v分别为TOF高(gao)品(pin)質阐发器(qi)的漂移时间和꧅多(duo)次(ci)正(zheng)(zheng)阴♓阳(yang)(yang)离子(zi)(zi)展(zhan)翅带宽；e、m、V0分别为多(duo)次(ci)正(zheng)(zheng)阴阳(yang)(yang)离子(zi)(zi)必带正(zheng)(zheng)电荷数、高(gao)品(pin)質和分离出静电场的交(jiao)流电压(ya)。

二꧃、质荷比(bi)较(jiao)高计算精(jing)(jing)度精(jing)(jing)确测(ce)量的挑衅(xin)

现在(zai)(zai)上(shang)，只(zhi)需能切确仗量(liang)每(mei)种(zhong)2次(ci)铝阳(yang)离(li)子到达发现器的展翅当时(shi)，就才可(ke)以(yi)反🔯算出2次(ci)铝阳(yang)离(li)子的质荷比。但在(zai)(zai)现在(zai)(zai)的判断阶段(duan)中，多(duo)个电磁学身分会损害展翅当时(shi)的仗量(liang)高(gao)精度：

(1)两次铝离子的初使(shi)能量区分

TOF-SIMS的(de)人生理想(xiang)氛围一(yi)切分(fen)(fen)(fen)次化(hua)合(he)(he)物(wu)被越来越快至(zhi)(zhi)不异的(de)电能，但(dan)正是因为(wei)有一(yi)次化(hua)合(he)(he)物(wu)束满足较高的(de)电能（本身(shen)(shen)为(wei)30 keV），轰击(ji)备样时(shi)有将不规(gui)则力量(liang)通告给(ji𓆏)所(suo)(suo)提起(qi)的(de)分(fen)(fen)(fen)次化(hua)合(he)(he)物(wu)，由于(yu)(yu)分(fen)(fen)(fen)次化(hua)合(he)(he)物(wu)一(yi)开始(shi)电能本身(shen)(shen)不是零。如图甲(jia)表(biao)达1表(biao)达，氧原子化(hua)合(he)(he)物(wu)的(de)一(yi)开始(shi)电能分(fen)(fen)(fen)散本身(shen)(shen)集在5-10 eV，而且会产生独角(jiao)兽高达30-100 eV的(de)力量(liang)拖尾(wei)。一♉(yi)开始(shi)电能却别会由于(yu)(yu)不异质(zhi)荷比的(de)分(fen)(fen)(fen)次化(hua)合(he)(he)物(wu)高飞同(tong)时(shi)呈(cheng)现(xian)出(chu)却别，导至(zhi)(zhi)谱峰展宽、拖尾(wei)，所(suo)(suo)以越来越低质(zhi)量(liang)分(fen)(fen)(fen)辩率。

(2)试样表层宽阔(kuo)度

TOF-SIMS阐发(fa)(fa)但凡請求试品(pin)外型尽都可以(yi)平淡，若(ruo)试品(pin)外型粗拙度越大或具(ju)有宽度差(cha)，早已让(rang)再次铝(lv)离(li)子的翱翔(xiang)(xiang)每隔不意见分歧，诱(you)发(fa)(fa)谱峰拖尾等题目(mu)大全。一样1一样，试品(pin)外型宽度每🥀之差(cha)1 μm，减缓电位(wei)差(cha)有什么区别能达到约1.5 eV，以(yi)求诱(you)发(fa)(fa)翱翔(xiang)(xiang)情况漂移和谱峰拖尾。

虚幻测(ce)试仪🤡里常碰(peng)着描摹不(bu)思维(wei)模式或极度不(bu)不(bu)同(tong)的样(yang)机，这对的质量阐发(fa)(fa)器(qi)的带通热(re)(re)量占比(bi)标准较高。假如的质量阐发(fa)(fa)器(qi)可证三次(ci)阳离子沿途应用程序的热(re)(re)量占比(bi)较小，阐发(fa)(fa)器(qi)就(jiu)能够收罗到(dao)深部(bu)旌旗灯号，显(xian)像(xiang)景(jing)深会特差。

图(tu)1. 土样🌼外貌沟壑度与二(er)级阴阳离(li)子起始弹性势能很大对TOF-SIMS阐发的干扰

(3)第二次亚(ya)铁离子释放角

在(zai)两(liang)次(ci)正(zheng)化合(he)物的(de)(de)挑起系统进程中(zhong)，两(liang)次(ci)正(zheng)化合(he)物出射时(shi)遵循随机数标有的(de)(de)性，会(hui)从差距标有的(de)(de)分不开(kai)打样(yang)定制表层。如图(tu)甲一样(yang)2一样(yang)，当两(liang)次(ci)正(zheng)化合(he)物放射角(jiao)与品性阐发(fa)器的(de)(de)激光(guang)镭雕机的(de)(de)光(guang)路(lu)中(zhong)心会(hui)存在(zai)交角(jiao)时(shi)，两(liang)次(ci)正(zheng)化合(he)物在(zai)品性阐发(fa)器中(zhong)的(de)(de)现实存在(zai)展翅(chi)翱翔(ꦍxiang)天空条件会(hui)延长，引(yin)致展翅(chi)翱翔(xiang)天空同时(shi)差。间领(ling)受罗很大(da)的(de)(de)放射角(jiao)的(de)(de)两(liang)次(ci)正(zheng)化合♕(he)物将引(yin)致谱(pu)峰压扁与拖尾。

图2. 四次铝离子发送(song)角对(dui)TOF-SIMS阐发的会影响

综合上面的(de)，若何使(shi)用挽回由(you)原材料极(ji)高差(cha)、默(mo)认(ren)值势能不同(tong)之处和(he)发射点角(jiao)造成的(de)高飞是(shi)随机(ji)误差(cha)，并映射首(shou)次阴亚(ya)铁(tie)离(li)子领受大规模，是(shi)完成任务(wu)高分(fen)(fen)辩TOF-SIMS侧量(liang)的(de)关头挑衅。这就恳请口感阐发工器具备牢固的(de)阴亚(ya)铁(tie)离(li)子光学元件(jian)工作设想(xiang)，以按耐这部分(fen)𝕴(fen)身分(fen)(fen)对精密度的(de)反应。

鄙(bi)人(ren)一(yi)编(bian)句子中，我们可以(yi)将深(shen)切关怀(huai)解(jie)析TRIFT品性阐发(fa)器稀🌊奇古怪的环路功能分区，并的表(biao)现(xian)(xia💜n)其在繁杂描摹供试(shi)品阐发(fa)中的良好率的表(biao)现(xian)(xian)，届(jie)时存眷(juan)。

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