根据微信分享 | TOF-SIMS品级阐发器（下）：TRIFT选址及优点

在上一(yi)篇文章中，咱(zan)们切(qie)磋(cuo)了TOF-SIMS高(gao)精度(du)丈量(liang)所面(mian)对的(🌺de)(de)挑(tiao)衅(xin)，指出品质(zhi)阐(chan)发(fa)器须要具(ju)备紧密的(de)(de)离子光学设(she)想(xiang)以(yi)(yi)应答这些挑(tiao)衅(xin)。三(san)重飞翔时候聚焦品质(zhi)阐(chan)发(fa)器（TRIple Focusing Time of flight，简称TRIFT）作为ULVAC-PHI的(de)(de)TOF品质(zhi)阐(chan)发(fa)器，凭仗其(qi)宽通能、高(gao)景(jing)深和较大二次离子领受角等怪异设(she)想(xiang)，在静(jing)态(tai)SIMS阐(chan)发💞(fa)中表(biao)现出y机能。TRIFT开(kai)初由Charles Evans & Associates公司开(kai)辟，后经PHI延续(xu)优(you)化(hua)与迭代，已成为以(yi)(yi)后机能优(you)先的(de)(de)静(jing)态(tai)SIMS品质(zhi)阐(chan)发(fa)器之(zhi)一(yi)。

这(zhei)篇(pian)文将着重先容TRIFT的(de)质量阐(chan)发(fa)器的(de)布置图形成、功用代(dai)表性举例在现实主义者(zhe)阐(𒊎chan)发(fa)中的(de)进行。

一、TRIFT品味阐发器方式

为(wei)知足复杂(za)化描摹(mo)样(yang)件(jian)的(de)(de)高精(jing)度TOF-SIMS阐(chan)(chan)发(fa)需(xu)要，TRIFT口感阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)使用(yong)了(le)奇特的(de)(de)激光镭雕(diao)机(ji)的(de)(de)光路总体目(mu)标，就(jiu)能(neng)(neng)我以(yi)(yi)为(wei)我以(yi)(yi)为(wei)好(hao)使补充重新阴(yin)离(li)子因𒆙原始能(neng)(neng)量有什么区别(bie)、释(shi)放弯度与样(yang)件(jian)层面差所引起的(de)(de)翱翔天空之时 测(ce)量误差。如(ru)同(tong)3随时，TRIFT口感阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)根(gen)本由以(yi)(yi)上轮廓组合：

1、生成透镜组

TRIFT安装配置💙摆货(huo)了(le)由沉没透镜(Immersion Lens)和(he)数据(ju)传输透镜(Transfer Lens)组合而成的获(huo)取透镜组，在获(huo)取打样定制外层唤(huan)起的分批铝离子，并将其把握后原(yuan)材料静电放电阐发(fa)器。

2、静电感应阐发器(ESA)

转(zhuan)化(hua)成透镜组的后端开(kai)(kai)发(fa)(fa)开(kai)(kai)设两(liang)个ESA阐(chan)发(fa)(fa)器(qi)，每位ESA阐(chan)发(fa)(fa)器(qi)可(ke)将首(shou)次亚(ya)铁铝离子偏转(zhuan)90°，颠末(mo)两(liang)个ESA阐(chan)发(fa)(fa)器(qi)的偏转(zhuan)后，𒊎首(shou)次亚(ya)铁铝离子会积(ji)累偏转(zhuan)270°，最终以做到双微工(gong)作区板测(ce)探(tan)器(qi)(DMꦰCP)，所有的翱翔(xiang)天(tian)空(kong)路径(jing)为2 m。

3、能量是什么过滤系统器(Energy Slit)：

在同(tong)一家ESA阐发器的(de)前(qian)后端分ౠ离设计武器装备摆(bai)放有同(tong)一家带通热量(liang)净化器，代替研究生调剂首次阴(yin)阳铁(tie🏅)离子它(ta)是经过(guo)了过(guo)程中(zhong) 的(de)热量(liang)投资规模，取(qu)除亚准稳态阴(yin)阳铁(tie)离子搅扰。

4、另一个配置文件

TRIFT还(hai)配带🦋Matsuda Plate、Contrast Diaphram、HiMass Blanker等光(guang)学材料配件，这么(me)多(duo)密封配件协同工(gong)作工(gong)作，统一有保障高精密度꧙较TOF-SIMS阐发。

图3. TIRFT产品(pin)阐(chan)发(fa)器功能分(fen)区突出表现图

二、TRIFT口感阐发器营(ying)养价值(zhi)特点

1、势能补救

TRIFT产品质(zhi)量(liang)阐发(fa)器(qi)(qi)所经阶段专业调剂第第二(er)级🔯亚(ya)(ya)(ya)铁(tie)阴阳亚(ya)(ya)(ya)铁(tie)离子(zi)在(zai)ESA中的(de)遨翔(xiang)路径，来修复因刚(gang)开(kai)始动(dong)量(liang)本质(zhi)区别(bie)随(sui)带来的(de)遨翔(xiang)过(guo)程(cheng)中确定误差。如(ru)图已知4如(ru)下，刚(gang)开(kai)始动(dong)量(liang)多于零(ling)(ling)的(de)第第二(er)级亚🌠(ya)(ya)(ya)铁(tie)阴阳亚(ya)(ya)(ya)铁(tie)离子(zi)，在(zai)ESA阐发(fa)器(qi)(qi)中的(de)遨翔(xiang)方式会彰显，如(ru)此遨翔(xiang)过(guo)程(cheng)中赶(gan)不上，使其与质(zhi)荷(he)比不异且(qie)刚(gang)开(kai)始动(dong)量(liang)为零(ling)(ling)的(de)第第二(er)级亚(ya)(ya)(ya)铁(tie)阴阳亚(ya)(ya)(ya)铁(tie)离子(zi)直接可达试探器(qi)(qi)。

图(tu)4. TRIFT品味阐发(fa)器电(dian)能补上具体(ti)表现图(tu)

2、标底的把握

长为5所(suo)显示(shi)，TRIFT品味(wei)阐发器悦纳自己双抽取透镜组指(zhi)导思想，可只(zhi)(zhi)不过对(dui)区別(bie)出射层面看的(de)(de)四(si)次铁(tie)(tie)(tie)正阳(yang)阴(yin)阳(yang)离(li)子(zi)变慢把握，凸显四(si)次铁(tie)(tie)(tie)正阳(yang)阴(yin)阳(yang)离(li)子(zi)的(de)(de)领(ling)受人数。联合(he)web后(hou)台(tai)的(de)(de)3组ESA，可只(zhi)(zhi)不过只(zhi)(zhi)不过同一时(shi)间改进由四(si)次铁(tie)(tie)(tie)正阳(yang)阴(yin)阳(yang)离(li)子(zi)一开始弹(dan)性势能(neng)和区別(bie)出射层面看所(suo)演变成的(de)(de)遨(ao)翔时(shi)期不确(que)定度，在(zai)没有成空无线(xian)传输权(quan)利和监测(ce)活动度的(de)(de)条件下，可进行可高达± 21°的(de)(de)四(si)次铁(tie)(tie)ꦐ(tie)正阳(yang)阴൲(yin)阳(yang)离(li)子(zi)领(ling)受角。

图(tu)5. TRIFT好品质阐(chan)发器标志(zhi)的目的聚交情况图(tu)

3、高带通卡路(lu)里(li)个人规划

TRIFT品性阐(chan)(chan)发(f🔴a)器(qi)所放置的(de)(de)(de)装备摆才的(de)(de)(de)能量场过滤系统器(qi)必备条(tiao)件较(jiao)高的(de)(de)(de)通能(240 eV),在(zai)(zai)(zai)(zai)后勤保障(zhang)阐(chan)(chan)发(fa)效率(lv)与可(ke)靠性强，精密度(du)的(de)(de)(de)同样，可(ke)完工(gong)达(da)标率(lv)的(de)(de)(de)显像(xiang)(xiang)景深。长为6如图所示，对配位混物黏胶合成食(shi)物纤维备样退(tui)出TOF-SIMS显像(xiang)(xiang)阐(chan)(chan)发(fa)时，关(guan)键在(zai)(zai)(zai)(zai)于TRIFT品性阐(chan)(chan)发(fa)器(qi)超(chao)卓的(de)(de)(de)显像(xiang)(xiang)景深，在(zai)(zai)(zai)(zai)0-150 μm横面企业规模内明确分辩出穿插堆叠的(de)(de)(de)黏胶合成食(shi)物纤维合理布(bu)局(ju)，并在(zai)(zai)(zai)(zai)每根(gen)黏胶合成食(shi)物纤维上带能收罗(luo)到高透骨度(du)和高分辩率(lv)的(de)(de)(de)质(zhi)谱旌(jing)旗灯号。

图6. TRIFT品级阐发器高景深成(cheng▨)相阐发-聚合反应(ying)物(wu)氯纶打样定制

三、事实凭借(jie)典型(xing)案例

PHI公司(si)旗下(xia)的(de)(de)NanoTOF系统TOF-SIMS武器(qi)装备均(jun)研(yan)制(zhi)成功TRIFT产品质量(liang)阐(chan)发器(qi)，会其(qi)实其(qi)实在宽消耗的(de)(de)能量(liang)的(de)(de)规模内对首(shou)次铝离(l𒁏i)子电能和出射标志依据为止聚焦点，共用于冗(rong)杂(za)描摹印刷品的(de)(de൩)高精密(mi)度外(wai)观激光散斑阐(chan)发。下(xia)列为实现应(ying)用的(de)(de)例子：

图7. 高分子(zi)化合物物微球TOF-SIMS激光散斑阐发ꦏ，微球布料(liao)才质：聚甲基水(shui)性聚氨酯(zhi)乙酯(zhi)；衬底布料(liao)才质：亚力克胶

图8. 人男士头(tou)发TOF-SIMS影像(xiang)阐发

ꦆ图9. 小(xiao)鼠胚胎(tai)結构(gou)TOF-SIMS三维(wei)成像阐(chan)发(fa)

TRIFT品(pin)行保(bao)证阐(chan)(chan)发(fa)器所(suo)经(jing)的(de)过程 其奇特的(de)什(shen)么是(shi)四大(da)集(ji)焦(jiao)构想——即对首(shou)次阴(yin)阳铝离子(zi)的(de)能源、斜度෴(du)和面积(ji)状态此外中断(duan)填补(bu)与集(ji)焦(jiao)，取(qu)得(de)胜利(li)强占了高(gao)要求TOF-SIMS阐(chan)(chan)发(fa)中的(de)多种关头挑衅(xin)。跟着我(wo)看(kan)上(shang)(shang)去(qu)阐(chan)(chan)发(fa)厨艺时不时向较高(gao)通络度(du)、较高(gao)面积(ji)分辩率和更繁(fan)杂采用处景的(de)成长，TRIFT品(pin)行保(bao)证阐(chan)(chan)发(fa)器所(suo)表(biao)现形式的(de)高(gao)后能阴(yin)阳铝离子(zi)光(guang)学(xue)玻璃APP，将(jiang)维持为(wei)相信有家揭发(fa)資料看(kan)上(shang)(shang)去(qu)与软件(jian)界面的(de)无机化学(xue)图片信息供应壮观而靠经(jing)得(de)住的(de)厨艺撑(cheng)持。

参考选取专著

Schueler B W .Microscope Imaging by Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry[J].Microscopy Microanalys▨is Microstructures, 1992, 3(2-3):119-139.DOI:10.1051/mmm:0199200302-3011900.

-引用帅哥(ge)于(yu)《PHI外型阐发 UPN》公家号