从光源特征来看，X射线衍射利用的X射线波长较短，凡是在0.01-10纳米规模，能量较高，能穿透较厚样品，对晶体外部深层布局信息探测才能强。而电子衍命中，电子束的波长极短，可小于0.01纳米，这使得其分辩率远高于X射线衍射，能察看到更微观的晶体布局细节，但电子穿透才能弱，样品需极薄，普通请求在纳米级厚度。
在衍射道理上，X射线衍射基于布拉格方程，当X射线入射晶体，晶面间距与波长知足特定干系时，产生相长干与，构成衍射峰，反应晶体的晶面间距等微观布局信息。电子衍射一样遵守布拉格定律，但因为电子波的动摇性，不只受晶面间距影响，还与晶体势场散布紧密亲密相干，其衍射花腔能间接反应晶体的倒易点阵，包罗更多对于晶体对称性和微观布局的邃密信息。
尝试装备方面，X射线衍射仪绝对简略松散，首要由X射线产生器、测角仪、探测器等构成，操纵和保护本钱较低。而透射电镜中的SAED体系则庞杂很多，须要高真空情况、高精度的电磁透镜来聚焦电子束，和庞杂的成像和衍射节制体系，装备本钱昂扬，对操纵职员手艺请求也更高。
样品制备上，X射线衍射对样品形状请求不高，粉末、块状、薄膜等都可间接测试，只要保障外表平坦度。电子衍射则请求将样品制成超薄切片，凡是需离子减薄或超微切片手艺，制备进程庞杂且易引入毁伤或布局变更。
数据处置时，X射线衍射图谱阐发偏重于衍射峰地位肯定晶面间距，经由过程与规范图谱比对停止物相判定，计较晶粒尺寸等微观参数。电子衍射花腔阐发则要解读雀斑的地位、强度和对称性，连系晶体学常识肯定晶体布局、取向及缺点等信息，对阐发职员的专业程度请求更高。
利用范畴各有偏重，X射线衍射普遍利用于产业出产中的品质检测，如陶瓷、金属等资料的物相阐发、结晶度测定。电子衍射（SAED）多用于资料迷信研讨，如新资料研发中微观布局表征、界面阐发、纳米资料布局剖析等，为深切懂得资料机能与布局的干系供给关头根据。
X射线衍射与电子衍射在光源、道理、装备、样品制备、数据处置和利用等方面各具特点，两者彼此补充，配合助力资料迷信的成长。
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更新时候：2025-06-09
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