?有机物先容

 --MDPmap（MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试）有的是个干硬的连接超时台式电脑的检测极品装备，重在被⭕构想在主产有节制或研制开发、勘界少子保修期、光电子导率、电阻功率率和利弊图片信息等数据。其任务卡系统为恒定或短脉冲信号鼓舞下（μ-PCD）。

 --MDPmap（MDPmap晶圆片寿命检测仪--少子寿命测试）主动化的样品辨认和参数设置能够使该仪器便利地顺应各类差别💮的样品，包含从发展的晶圆到高达95%的金属化晶圆之间差别制备🌜阶段的各类内涵片和晶圆片。

 --MDPmap首先(xian)要忧点是其高强度(du)的(de)矫捷(jie)性，它同意整合多大4个二氧化碳缴光器，用(yong)来从特低获(huo)取(qu)(qu)到高获(huo)取(qu)(qu)的(de)与获(huo)取(qu)(qu)的(de)情况相干(gan)的(de)使用(yongꦛ)时(shi)间测量，或经(jing)途(tu)历程充分(fen)利(li)用(yong)差其他的(de)二氧化碳缴光光波波长截取(qu)(qu)纵深短信。

?装备特色

 --通络度：对里涵新工艺监控录像和不看得出劣势加测，具备着可视化数据测试软件的较高分辩率
 --仗量频率：69英寸硅晶圆片，1mm分辩率 ，不大于两分钟的英文
 --使用期限测量范围: 20纳秒到十几毫秒
 --沾污检查测量：隶属于坩埚和进步装配的塑料(Fe)洁净
 --勘界就要：从刚开始割孔的晶圆片到一切的制作工艺处理的产品的样品
 --矫捷性：准许室内激光束所经流程捕获器，与遥测摸块藕合
 --靠经得下性： 传感器化和松松垮垮台式机检测设备，更高些靠经得下性，大部分在运转之前> 99%
 --重演性： > 99.5%
 --电容率：不可时不时标定的电容率面扫描仪扫描

?装备参数