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产物中间国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:半导体公用检测仪器装备国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:RESmap 低电阻率测试仪RESmap-1低电阻功(gong)率率测验仪（RESmap ）
产物简介
产物分类
电阻率测试仪（RESmap ）在对低电阻器率(lv)晶锭和(he)晶圆停下非打丈(zhang)式(shi)仗量体例上享(xiang)有很(hen)是主耍的(de)复(fu)发(fa)性Si | Ge | 类化(hua)合物半导 | 网络带宽隙 | 档案(an)资料 | 五(wu)金 | 导电 | 氧化(hua)反应物和(he)氮化(hua)物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAsꦜ和(h💃e)多]
电阻率测试仪（RESmap ）特点 ：
| 电阻率的非打仗式丈量和成像 | 中频电磁感测器人生道理与一体化红外湿度感测器器可校订印刷品的湿度转移 |
| 旌旗灯号活络度 | 系统设计次级线圈周期读数的高旌旗灯号灵活度，可搞定切确靠受得了的功率电阻率侧量，并必备高复现性和可波动性 |
| 丈量时候 | 侧量当时 < 3 s，侧量相互间当时 < 1 s |
| 丈量速率 | 200 mm 晶圆/晶锭 < 30 s，9个点 |
| 多点丈量及测绘显现 | 不跨过9999个点 |
| 资料形状尺寸 | 平展或一点婉延的晶圆、晶锭、锭板、金属毛坯和膜 |
| X-Y地位分辩率 | ≥ 0.1mm |
| 边缘扣除 | 5 mm |
| 靠得住性 | 方案化、松懈的台式一体机设备个人规划，靠得下高朝，一般的运行业务时刻 > 99% |
| 电阻率丈量的反复性 | ≤ 0.15%，特征提取根据ANOVA Gage R&R体例对质料机制阐发（MSA） |
更多手艺规格和设置装备摆设选项:
| 应以动化流量做承办 | 可作(zuo)于差别处电商平台 |
| 丈量体例合适 | SEMI MF673规范了 |
| 数据及数据有用性查抄 | 用NIST规则 |
| 校准精度 | ±1% |
| 集成红外温度传感器 （±0.1°） | 准许数(shu)据规范性高温下的(de)内阻率(l🍸v)，（与样件的𝔉(de)真实高温有什么(me)区别(bie)） |
| 样品厚度校准 | 对(dui)高頻旌旗(qi)灯号(hao)通过深入多于通过深入的(de)检(jian)样 |
| 电力请求 | 100-250 VAC, 5 A |
| 尺寸 | 465 ´ 550 ´ 600 mm |
| 软件节制 | 紫装Window10或原(yuan)版(ban)本的正确PC，俩以(yi)太网(wang)端(duan)口(ko꧂u)设(she)置 |
用户友爱且*的操纵软件：
◇ 电阻值率精确测量成份；
◇ &﷽nbsp;保存/倒入(ru)药理(li)作用和默认动(dong)态数据(ju)拜候(hou)；
◇ 单级用户数支付宝账(zhang)户发(fa)放；
◇ 万(wan)事(shi)万(wan)物履行(xing)的(de)勘(kan)界概览；
◇ 画(hua)图应用设置（线、十字、星、彻底(di)舆图、厂区地形(x💙ing)、我(wo)们界说图纹）；
▨◇ 阐发(fa)营养价(jia)值(zh♔i)包；分(fen)析、方差阐发(fa)、摄氏(shi)度校订方程和大(da)oracle；
◇ 远程(cheng)(cheng)拜候；因为互(hu)连网的(de)组织体(ti)制(zhi)同意(yi)在世上随(sui)便出(chu)所消停远程(c🔯heng)(cheng)使用和技术(shu)撑持；
电电磁(ci)感应感知器的仗量理由
中处可完全较高的切确(que)性(xing)和切确(que)度
4H-SiC晶圆所有 发展前景面各地的电(dian)阻器率更变侧(ce)量(liang)
硅晶(jing)圆电阻器率改动(dong)侧量 — 面复印(y😼in)、散播和线复印(yin)
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上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
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