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产物中间外表阐发离子源体系C60 20SC60-20S 化合物(wu)源制度
产物简介
产物分类
简单：
C60-20S 离子源体系是一种(zh🍸ong)高机能离子束，设想(xiang)用于溅射(she)外表，具备较小的(de)毁(hui)伤和削减的(de)沿周溅射(she)效应(ying)。
C60-20S 离子源体系在高达20 kV的电压꧃(ya)下任务，可有效地溅射资(zi)料，且毁🎀伤(shang)较小，无需(xu)从头(tou)堆积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的远大抱负进级零件，可在许多材料上月均溅射。
首先规格：
| 首要利用 | 溅射 |
| 光斑尺寸 | 100 µm |
| 扫描规模 | 4 x 4 mm |
| 能耗规模 | 5 – 20 kV |
| 电流规模 | 50 nA |
| 法兰至机头长度 | 142 mm |
| 保举任务间隔 | 50 mm |
| 电源装配 | 3U x 19’’ rack mountable unit |
| 电源请求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
| 软件请求 | PC running Windows 10 or later |
| 集成法兰规格 | NW 63 CF |
特色:
◇&nbs🧔p; 直流电压(ya)密度(du)(du)就越高(gao)，蚀刻传输速度(du)(du)速度(du)(du)更快；
◇ 与单氧分子束(shu)移就，可应该削减化学上的毁伤；
◇ 本质区别(bie)資料和晶(jing🐻)胞价值取向(xiang)的溅射率予(yu)盾；
◇ 闸(zha)阀，更好(hao)地急速维修服务；
◇ 源保修期长；
利用范畴：
◇ 聚合物的高速、低化学毁伤蚀刻；
𒅌; ;
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