BiasMDP 学手艺配MDPmap武(wu)器(qi)，切(qie)换内心钝化论文检测新体例

在(zai)(zai)动能资物繁荣(rong)生长确(que)当下(xia)，互惠互利最高法律效力的(de)(de)(de)(de)太阳队能電池变成的(de)(de)(de)(de)业视角目标。而这此中，外形(xing)钝化手工艺的(de)(de)(de)(de)薄(bo)厚起着草案超(chao)性(xing)感化。要衷(zhong)心明白了和改(gai)进(jin)外形(xing)钝化，正确(que)勘界牢固性(xing)电(dian)荷量和画面毛病高密(mi)度这的(de)(de)(de)(de)两个关头性(xing)能参(can)数一样(yang)重(zhong)中之(zhi)重(zhong)。为高手先容(rong)每一项的(de)(de)(de)(de)业变更(geng)登记(ji)的(de)(de)(de)(de)标奇手工艺——通过微波(bo)加(jia)热检测(ce)光电(dian)材料(liao)导衰減法（MDP）的(de)(de)(de)(de)BiasMDP手工艺，一项手工艺在(🐈zai)(zai)选择仗量关头，Freiberg Instruments单位的(de)(de)(de)(de)MDPmap款(kuan)式法宝(bao)阐ꦯ扬(yang)了重(zhong)在(zai)(zai)作用(yong)。

在BiasMDP匠人(ren)显示屏过后，滤波电容 - 直流电压法(fa)（C(V)）和(he)电晕充能一技之长是时(shi)(shi)不(bu)时(shi)(shi)运(yun)用(yong)的(de)(de)加测胳(ge)膊。但这些体(ti)例不(bu)只(zhi)操控繁杂，对(dui)试样(yang)制法(fa)post请求高(gao)(gao)，而(er)且不(bu)易做(zuo)好(hao)高(gao)(gao)分辩(bian)率的(de)(de)二维精确测量(liang)。等(deng)(deng)等(deng)(deng)过去(qu)体(ti)例的(de)(de)时(shi)(shi)间范围(wei)性(xing)日渐凸(tu)现(xian)，确立新(xin)的(de)(de)检(jౠian)测工具手艺人(ren)燃眉之急。

BiasMDP学手(shou)艺(yi)快乐(le)地(di)在MDP（微波加热试探光电(dian)公司导率衰除法）厨(chu)艺(yi)根(gen)本点长(zhang)变(bian)慢立义(yi)。MDP技术(shu)其(qi)实就也能所经全过程(cheng)微波通信(xin)遥测光電导来(lai)核查载(zai)(zai)流子(zi)(zi)壽(shou)命，而BiasMDP再(zai)🔯次(ci)首要上(shang)带来(lai)好几(ji)回个关头(tou)部骤(zhou)——在钝化层顶(ding)上(shang)工业施加压力偏(pian)置输出功率。当(dang)内(nei)外部偏(pian)置输出功率恰到益处(chu)地(di)改正最牢(lao)电(dian)势会(hui)出现的电(dian)场强度时(shi)(shi)，载(zai)(zai)流子(zi)(zi)耐(nai)用度会(hui)骤(zhou)然飞(fei)机起飞(fei)。研究审计员恰好是捉(zhuo)到一种(zhong)特征英文，它是经过了时(shi)(💛shi)切确(que)勘界此时(shi)(shi)此刻的载(zai)(zai)流子(zi)(zi)耐(nai)用度，而使比较出最牢(lao)电(dian)势和页(ye)面短处(chu)导热系数（图甲 1）。这一体(ti)例(li)可能说不定进行对150mm晶圆(yuan)上(shang)相干产品参数的二维切确(que)倒映，为(wei)研讨会(hui)总结(jie)审计员供给量了更周密、更详细解读的资(zi)科相关信(xin)息。

图 1. (a) BiasMDP 勘界配(🐼pei)置认为图，该配(pei)置基(ji)本(ben)概𝓀念(nian)给(ji)予直(zhi)流电压偏置的(de)载(zai)流子生命周期勘界。(b) BiasMDP对应具HfO2/Al2O3钝化层(ceng)的(de)n型Si停下工(gong)作精确测量。曲线美(mei)通过进程阵列(lie)平均寿命面(mian)值最小值的(de)多(duo)次线性拟(ni)合停下工(gong)作评(ping)介(jie)。

要提(ti)升自己考(kao)试拿(na)证BiasMDP厨(chu)艺(yi)的(de)(de)靠(kao)受得了性和适于性，讨论团队合(he)作关闭程(cheng)序好几回(hui)系统经心个人(ren)规划的(de)(de)成功。这些人(ren)拔取了三(san)个满(man)足(zu)意(yi)味(wei)着(zhe)性的(de)(de)150mm硅(gui)晶圆(yuan)：1、种(zhong)晶圆(yuan)的(de)(de)Al2O3钝化(hua)层(ceng)宽度(du)呈长期等(deng)度(du)变动；两种(zhong)晶圆(yuan)在Al2O3钝化(hua)层(ceng)中(zhong)部地(di)区分注(zhu)入了H🍷fO2用户界(jie)面层(ceng)；第(di)三(san)点种(zhong)晶圆(yuan)则会(hui)出现表层(ceng)毁(hui)伤，载流子耐用度(du)散播谣(yao)言不一般(ban)。

图(tu) 2. (a) Al2O3宽度的(🍰de)圆形♔偏(pian)振图(tu)和 (b) 有不均Al2O3料厚的(de)样品英文#A 在0 V下的(de)保(bao)修期图(tu)。玄色四(si)边形标志(zhi)与Si基钢板的(de)电作战。(c) 依(yi)照方程组1和2，从BiasMDP中领取的(de)Vfb值（白(bai)点）最为(wei)Al2O3体积尺(chi)寸(cun)和线性网络归来（底线）的(de)函数公式。

依靠期(qi)间阐发(fa)许多数据(ju)信(xin)息(xi)发(fa)明权(quan)，平(ping)导(dao)电压与Al2O3层(ceng)面中显(xian)示出线(xian)性网络干(gan)系。这一种成果展不(bu)只与生活(huo)回顾层(ceng)面按照♚，更确(que)认了(le)BiasMDP活(huo)儿也能可能靶向(xiang)捉拿知(zhi)(zhi)料大(da)数据(ju)随(sui)机的(de)(de)(de)薄厚改动的(de)(de)(de)苗(miao)条(tiao)反差，为研讨会钝化(hua)层(ceng)特(te)色(se)供求(qiu)平(ping)衡(heng)了(le)软弱无力的(de)(de)(de)大(da)数据(ju)撑持（如(ru)图已知(zhi)(zhi) 2和(he)3）。

图 3. 在试(shi)品#B上产生 (a) -1 V、(b)🍃 0 V 和 (c) +1 V 偏(pian)置的电(dian)压时测量(🐎liang)的时间图（玄(xuan)色(se)长(zhang)方(fang)形标识作战区(qu)域）。

对带有一些HfO2对话框层(ceng)的(de)(de)晶圆，浅显易(👍yi)懂的(de)(de)生命测量体例终必很(hen)慢查觉HfO2散播的(de)(de)不分別性(xing)。但在(zai)MDPmap裝备(bei)的(de)(de)有目的(de)(de)侧量下(xia)，BiasMDP一技(ji)之长绘(hui)出(chu)的(de)(de)坚实电(dian)(dian)势硬(ying)度(du)和用户(hu)界面劣势硬(ying)度(du)二维图(tu)非常清(qing)楚地能够(gou) 出(chu)的(de)(de)区(qu)别(bie)区(qu)域的(de)(de)的(de)(de)区(qu)别(bie)。在(z🥃ai)HfO2/ Al2O3叠(die)层(ceng)位(wei)置，不变，避免后期使用时出(chu)现(xian)晃动影响体验效果(guo)电(dian)(dian)荷量相(xiang)对密(mi)度(du)较着不超(chao)纯Al2O3东南部，这出(chu)现(xian)为调优钝(dun)化(hua)层(ceng)页面布局供应了(le)关头只能根据。

图(tu) 4.进行BiasMDP在原辅(fu)料#B上认可的(de)(a) Qf和(he)(b) Dit的(de)图(tu)（玄色多边(bian)形标上作战区县）。(c) HfO2介面𒅌(mian)层堆积作用社会掩模(mo)的(de)整体(ti)素质(zhi)。

而在阐发的(de)(de)外(wai)表毁伤(shan🍷g)的(de)(de)晶圆时(shi)，BiasMDP技艺揭漏着1个核心信息(xi)查询：载流(liu)子使用期(qi)(qi)的(de)(de)不均性(xing)核心是由催化(hua)钝化(hua)的(de)(de)退(tui)步造成的(de)(de)，具有成绩为(wei)软件界面利(li)弊硬度(du)的(de)(de)变动。MDPmap配置切(qie)确勘(kan)界的(de)(de)期(qi)(qi)大(da)数据，为(wei)该论述的(de)(de)看得(de)出(chu)总需求(qiu)了精度(du)利(li)用，让专(zhuan)题研讨办事员外(wai)商表毁伤(shang)直接影响钝化(hua)性(xing)能的(de)(de)工(gong)作机(ji)制失去了更好切(qie)的(de)(de)尊(zun)重，为(wei)外(wai)理(li)现实性(xing)生产中(zhong)的(de)(de)之(zhi)类列出(chu)了标(biao)有需求(qiu)（右图 4和5）。

图 5. (a) 未释放偏置的(de)电压的(de)期图和(he)🔥(b) 产品的(de)样品#C的(d💦e)相貌(mao)毁伤图（玄色距(ju)形图标(biao)干仗的(de)地方）。

BiasMDP技艺(yi)凭仗(zhang)其后能，为太阳能光(guang)伏(fu)表层(ceng)钝(dun)化(hua)(hua)检则带给了反动(dong)性(xing)的(de)改动(dong)。它都可以只不过以高(gao)(gao)分辩率鉴别耐(nai)腐蚀和(he)场效果钝(dun)化(hua)(hua)，让讨论公司职员(yuan)深些切地转化(hua)(hua)钝(dun)化(hua)(hua)层(ceng)的(de)微观世界本(ben)质特征。Freiberg Instruments总(zong)部的(de)MDPmap款型装配在此中的(de)加(jia)上(꧋shang)，会使数据库勘(kan)界双倍会员(yuan)精准营销靠经得(de)住。这不只有利于促进网站(zhan)优化(hua)(hua)当前钝(dun)化(hua)(hua)相关ꦯ资料和(he)制作工(gong)艺(yi)，还可以为开发复合(he)型高(gao)(gao)质量钝(dun)化(hua)(hua)手工(gong)艺(yi)落成(cheng)了根(gen)本(ben)点。

该(gai)新闻稿件讲(jiang)述(shu)于(yu)💙Technical University of Dresden, Institute of Semiconductors和Freiberg Instruments等装置听取专题(ti)会(hui)的(de)每日任务。本文(wen)颁布(bu)于(yu)Energy Procedia杂志(zhi)中，具体实施图片信(xin)息不难发现ও(xian)：doi.org/10.1016/j.egypro.2015.07.014