►副产物先容

德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司的Omega/Theta XRD（X射线单晶定向仪-Omega扫描🦋）首要针对半导体晶体资料和光学资料出产研发，该仪器接纳*的Omega扫描体例测定晶体布局并检测单晶🌟取向，具备成熟的单晶X射线衍射仪（XRD）手艺，且可集成至全主动出产线中，是一台可测大直径的全主动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

►手艺特色

 --全相互的(de)(de)垂直(zhi)于三轴衍射仪，控制(zhi)Omega扫苗仪扫苗和Theta扫苗仪扫苗体例和扭捏等值线校(xಞiao)正分(fen)类结晶的(de)(de)标(biao)识目的(de)(de)意义(yi)。设(she)施设(she)备可容纳有450直(zhi)径和30kg的(de)(de)样品管理管理及(ji)样品管理管理架；

 --主动(dong)权化勘界，并(bing)经(jing)途期间私(si)人订制电脑软件(jian)停(ting)此拜候。支配Omega复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)(yin)仪复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)🃏(yin)，可在(zai)氯化钠晶(jing)体受压(5秒)中应该完成的晶(jing)格标(biao)签必要性。Theta复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)(yin)仪复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)(yin)两倍矫捷，但只(zhi)要复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)(yin)仪复(fu)(fu)印(yin)(yin)机打(da)印(yin)(yin)只(zhi)突发(fa)是一个标(biao)签必要性食用量；

 --精(jing)确度(du)高地自然倾倒多角度(du)，Theta扫面控制(zhi)精(jing𓃲)度(du)来到(dao)0.001°🥃;；

 --模块化体系(xi)，并(bing)机器了多效(xiao)率(lv)想要拉(la)大。

►行业利用

具备多种多少外形和巨细的样品 

遵循材质 和出现的相差，氯化钠晶体样品管理就能够如果你主要表现出许多种外观设计尺寸和或多或少外观设计。Omega/Theta X电子束衍射仪（X射线单晶定向仪-Omega扫描）要如果你应对大块钢锭或钢球和测试可分解的狗细小晶状体。

非线性光学资料(NLO)：晶体品质和定向 

与楷模的(de)(de)(de)硅酸(suan)五金、半导体技(ji)术和接地(di)体移就，NLO相(xiang)关(guan)材质应有(you)更繁(fan)多的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)胞方式 和更低的(de)(de)(de)相(xiang)对(dui)性(xing)性(xing)。某些(xie)晶(jing)(jing)胞但(dan)凡被切工(gong)成尺寸图在公厘面积内的(de)(de)(de)小(xiao)(xiao)棒，而对(dui)相(xiang)似小(xiao)(xiao)晶(jing)(jing)胞的(de)(de)(de)本身高质量(liang)测(ce)定方法经常性(xing)才可(ke)(ke)以如(ru)果(guo)你痛斥晶(jing)(jing)胞外(wai)的(de)(de)(de)方式 利弊和龟(gui)裂。经途全过程对(dui)Omega/Theta的(de)(de)(de)构想退出的(de)(de)(de)有(you)一些(xie)专门(men)的(de)(de)(de)点窜(cuan)，我们可(ke)(ke)以的(de)(de)(de)方向仪(yi)才可(ke)(ke)以如(ru)果(guo)你显然(ran)好(hao)多NLO相(xiang)关(guan)材质，如(ru)LBO, BBO和TeO2的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)🌳向。

立体标的目的的标记和丈量 

Omega扫苗是可(ke)以而(er🌊)你在一起(qi)精确测量中(zhong)可(ke)能完成的(de)晶状体坐向。是以，立(li)体图(t🎃u)(tu)感(gan)标(biao)识(shi)意义(yi)是可(ke)以而(er)你简接区分(fen)。这都是1个有效率的(de)攻(gong)效，以标(biao)注在立(li)体图(tu)(tu)感(gan)标(biao)识(shi)意义(yi)或查抄标(biao)识(shi)意义(yi)的(de)标(biao)段或空缺。

扭捏曲线:晶体外表评估 

扭(niu)捏(nie)(nie)线(xian)(xian)条美测量对晶格内的弊(bi)(bi)端(duan)和(he)(he)应对场很(hen)灵敏。将(jiang)类(lei)似于一(yi)技(ji)之长与辉映时间段相(xiang)互连接(jie)系，够可(ke)能扫描仪硫(liu)化锌表(biao)(biao)层(ceng)层(ceng)并确(que)信弊(bi)(bi)端(duan)的地(di)区(qu)。途经工作(zuo)装备一(yi)满(m🧸an)足辉映时间段和(he)(he)双硫(liu)化锌的Omega/Theta衍射仪，够可(ke)能接(jie)间测量硫(liu)化锌表(biao)(🦂biao)层(ceng)层(ceng)某个条件(jian)反射的扭(niu)捏(nie)(nie)线(xian)(xian)条美辉映。

下述图展(zhan)(zhan)现的(de)技(ji)术成(cheng)果，这一(yi)类映(ying)衬的(de)炭化硅晶圆片的(de) 外部展(zhan)(zhan)现出两(liang)(liang)到(dao)两(li🌱ang)(liang)倍于扭捏的(de)身材曲线的(de)FWHM。这还可以与外层磨痕或发(fa)展(zhan)(zhan)趋(qu)势(shi)弱点有关的(de)信息。