◇  主动化的晶圆处置和分(fen)类体系（比方：盒到盒）。

◇  晶体取向和(he)电阻率丈量 

◇  晶片的多少(shao)特点（缺口地(di)位、缺口深度(du)、缺口启齿角(jiao)度(du)、直径、立(li)体(ti)(ti)地(di)位和(he)♕立(li)体(ti)(ti)长度(du)）的光学测(ce)定 

◇  未抛光的(de)晶圆(yuan)和镜(ji🎉ng)面的(𒁏de)间隔丈量 

◇  MES和/或SECS/GEM接(jie)口

晶圆x射线晶体定向仪分拣体系Wafer XRD的Omega-scan体例：

◇  高的精度 

◇  丈(zhang)量(liang)ꦜ速(su)率(lv)： < 5秒/样品 

◇  易(yi)于集成到工艺线中 

◇ &nbs💎p;典范(fa❀n)的规范(fan)误(wu)差倾斜度(du)（比方(fang)：Si 100）：   < 0.003 °，小(xiao)于< 0.001 °。

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪
重要计程表碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司(si)由X-ray Ing꧃.组(zu)织亚瑟·布(bu)拉达切克和(he)他的女儿汉斯·布(bu)拉达切克創建。

◆  1969 - 研究了天下下载上为一体化电(dian)源电(dian)路的x放射线判断计(ji)数器装配(pei)工(gong)艺，叫🔜做 💝COUNTIX 130。

◆  1989 - 走上 Omega-Scan 体例

BOSCH 请求供给圆形石英毛坯的定向丈量体系 -    振荡器产量从 50% 进步到 95%

◆ &nb🌼sp;2005 - 将 Omega 更换到(൩dao)同(tong)样文件(jian)，如(ru)SiC、蓝晶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高(gao)温和金

◆  2010 - 开发代替结晶价值取向精确(que)测量(liang)的台(tai)型 X x射线衍射仪🉐 ( DDCOM ) 

环宇售卖 约 150台熔融石英分选管理体系

◆  2015 - X 电子束匠人(ren)和 EFG GmbH 归并到(dao) Freiberg Instruments GmbꦛH  ꧅      

传人60年芬兰手艺人物力-三四代X电子束过程师