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国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:少子寿命测试仪(MDP)
国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:单晶和多晶硅片寿命丈量仪(MDPmap)
MDPmap-1MDPmap单(dan)晶(jing)体和🃏多晶♐(jing)硅片生(sheng)命测量仪
MDPmap:
单晶体和(♒he)多晶硅片保修期(qi)测量(liang)极品装备(bei)用在复(fu)杂化的数据专题讨论和(he)开拓(tuo)了(le)。
特色:
◇ 通络度:高的通络度,使用于可视化分(fen)析至今到(dao)止不可見的瑕🦩疵和(he)查讯摆(bai)放理(li)念(nian)层(ceng)的环境
◇ 仗量速率(lv)单位:69英寸硅(gui)片<🧔;5min,分ℱ(fen)辩率(lv)有1mm
◇ 平均(jun)寿命面积:20ns到一百多ms &n🐭bsp;
◇ 再(zai)生(sheng)测定方法:出于坩埚和技能(neng)的复合(he)(铁)再(zai)生(sheng) ꧙ ♓;
◇ 仗量才行:从割孔好的(de)硅片到加工厂的(de)产品的(de𝔉)样品
◇ 矫(jiao)捷性:结实的(de)精(j🧸ing)确测量头(tou)就能够(gou)与里面的(de)离(li)子束器毗连并促ꦆ发
◇ 靠(kao)得下性:方案化和松懈型(xing)台(tai)型(xing)仪器设(she)备(bei),靠(kao)得下性越(yue)来越(yue)高,一样 ൲行驶(shi)同时>99%
◇ 🎶; 复发性(xing):>🧸 99%
◇ 电(dian)阻功率(lv)功率(lv)率(lv):电(dian)阻功率(lv)功率(lv)率(lv)勘测(ce),不(bu)可频仍较🌱准(zhun)
手艺规格:
供试品大小 &🧜nbsp; ﷽ | 直徑怎(zen)么(me)算达(da)300mm(规(gui)则台),直徑怎(zen)么(me)算达(da)450mm(定(ding)制化(hua)),*小(xiao)为5🍎 x 5mm |
使用寿命测量规模较 | 20ns至两百(bai)多ms及以上 |
电阻值率&nbs🐻p; &nꦐbsp; | 0.2 - >10³Ω·cm,p-型/n-型 &♉nbsp; |
合(he)格品相关(guan)资料(liao) ♐ | 硅片、理念层(ceng)、整体(ti)(ti)或生产加工的硅片、有机化合物半导体(ti)(ti)技术及更多的材质(zhi) ✃ |
可侧量的的特征 | 生命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光导率 |
激发可见(jian)光波长 &nbs𝄹p; | 挑从355nm到𒁏1480nm的*多3个(ge)本质(zhi)区(qu)别光波长。980nm(纵容(rong)) 𝄹 |
大小(xiao)产品规格 &♔nbsp; &nbꦿsp; | 体积太:680 x 380 x 450mm毫米;信噪比:约65Kg &nbs🍎p; |
开关电源(yuan) &🥂nbsp; | 100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A 🌠 |
MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 细节:
◇ 应用在研发部门或产于监督的矫捷勘测产品◇ MDPmap被指导思想连成(cheng)一片个时(shi)(shi)紧时(shi)(shi)松的(de)台型(xing)非作战电学表现物(wu)质,适(shi)用网页版产出(chu)合理(li)(li)或(huo)研发(fa)项目管(guan)理(li)(li),在稳定或ꦯ(huo)短(duan)脉冲发(fa)生器支(zhi)持(μ-PCD)下,在某个宽的(de)引(yin)入(ru)产值内(nei)精确测量技(ji)术指标(biao),如载(zai)流(liu)子使用期、光导率、电阻(zu)器率和优缺点(dian)资(zi)讯。及时(shi)(shi)化的(d𝐆e)原材料辨(bian)别和技(ji)术指标(biao)使用批准(zhun)愉快顺应潮流(liu)各大区別个原材料,包含了内(nei)在层和颠末区別制法时(shi)(shi)段.的(de)晶(jing)圆,从(cong)原本晶(jing)圆到敢达95%的(de)塑料化晶(jing)圆。
◇ MDPmap的(de)(de)(de)(de)关(guan)键我的(de)(de)(de)(de)缺点(dian)是它的(de)(de)(de)(de)长(zhang)度(du)矫捷(jie)性(xing),例子,它可(ke)证ibms几厘米十个脉冲光器(qi),用来侧量从(cong)较低到高的(de)(de)(de)(de)赋予(yu)层度(du)的(de)(de)(de)(de)使(shi)(shi)用时间,或通(tong)过(guo)过(guo)程中 合理利用差(cha)的(de)(de)(de)(de)脉冲光光波波长(zhang)分离出进(jin)一(yi)步(bu)新(xin)信息。蕴含偏(pian)置光政(zheng)策机制机制,和μ-PCD或准稳态赋予(yu)目的(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(💫de)(de)页面。可(ke)能用差(cha)的(de)(de)(de)(de)舆图停掉(diao)(diao)买家界(jie)说的(de)(de)(de)(de)比较,也可(ke)能导出核心数值(zhi)停掉(diao)(diao)进(jin)一(yi)歩点(dian)评。对规则的(de)(de)(de)(de)压力容(rong)器(qi)检验使(shi)(shi)命(ming)感,预界(jie)说的(de)(de)(de)(de)规则要是按紧(jin)的(de)(de)(de)(de)开关(guan)按钮(niu)就(jiu)可(ke)能停掉(diao)(diao)一(yi)贯(guan)的(de)(de)(de)(de)精确(que)测量。
附加选项:
◇ 光点非(f♛ei)己的改变 &𝓀nbsp;
◇ 电容率测(ce)量(晶圆)  ꧅;
🐟◇ 方块阻值
◇ 的背景/偏光  🍬;🔴
◇ 射线(xian)勘(kan)界(jie)(MDP)𓆉  ꦜ;
◇ 太(tai)阳升起能电ꦕ池充(chong)电的LBIC(分散式(shﷺi)大小侧量)
◇ 偏压MDP &nb💙sp; &🌄nbsp;
◇ 参考资料晶(jing)圆 &🍒nbs🐻p;
◇ 硅的内壁/内壁铁(tie)图 &n🐷bsp;
◇ &nb꧋sp;融合加水台 💃
◇ 矫捷的机光器设为技能摆好(hao)
MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 侧量范例:
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钝化多晶硅的寿命图 &n💎bsp; | 多晶硅的铁净化图 |
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单晶硅的硼氧图 | 单晶硅的缺点密度图 |
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碳化硅内涵片(>10μm)-多数载流子寿命mapping图(平均寿命τ=0.36μs) | |
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高阻硅片(>10000Ω·cm)-多数载流子寿命mapping图 | |
![]() | |
非钝化硅内涵片(20μm)-多数载流子寿命mapping图 |
MDPmap 利用:
铁溶液浓度测试
铁的(de)含(han)量(liang)的(de)切确(que)检(jian)测长度(du)常具体的(de),正(zheng)因为(wei)铁是硅中宏(hong)伟(wei)也是无毒(du)性的(de)瑕疵(ci)其中之一。是以,有要尽(jin)可(ke)精(jin🌠g)确(que)度(du)和急(ji)速(su)地仗量(liang)铁含(han)量(liang),兼具很是高(gao)的(de)分辩率(lv)且**是线下的(de)
更加多......
搀杂供试品的光电技术导率测量
B和P的(de)(de)搀杂在微电(dian)子(zi)产业中有很多利(li)用,但到(dao)今(jin)朝为止(zhi),不(bu)体例(li)能(neng)够在不(bu)打仗(zhang)样品和因(yin)为须要(yao)的(de)(de)退火步(bu)骤而转(zhuan)变(bian)其性子(zi)的(de)(de)环境下查抄这(zhei)些搀杂的(de)(de)评均(jun)性。迄今(jin)为止(zhi)的(de)(de)坚苦(ku)……
更好......
套路含量测定法
圈(quan)(quan)套中(zhong)(zhong)间长短常主要(yao)的(de),为(wei)了领会资(zi)料中(zhong)(zhong)载流子的(de)行动(dong),也能(neng)够(gou)对太阳(yang)能(neng)电池(chi)发生影响。是以,须要💙(yao)以高分辩率(lv)丈量这些圈(quan)(quan)套中(zhong)(zhong)间的(de)♉牢笼容重和碱化能(neng)。
其他......
植入相干侧量
多(duo)数载(zai)流子寿(shou)命(ming)激烈依靠于注(zhu)入(多(dꦡuo)余(yu)余(yu)载(zai)流子浓度(du)(du))。从寿(shou)命(ming)曲线的外形和高度(du)(du)能够揣度(du)(du)出(chu)搀杂组合(he)中间的和吸引中央的信息。
其他......