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以后地位:国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久产物中间国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:少子寿命测试仪(MDP)国产日韩欧美_亚洲国产精品无码AV久久久:单晶和多晶硅片寿命丈量仪(MDPmap)MDPmap-1MDPmap单(dan)晶(jing)体和🃏多晶♐(jing)硅片生(sheng)命测量仪

MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪
产物简介

MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪被设想成一个松散的台式非打仗电学表征东西,用于离线出产节制或研发,在稳态或短脉冲鼓励(μ-PCD)下,在一个宽的注入规模内丈量参数,如载流子寿命、光导率、电阻率和缺点信息。主动化的样品辨认和参数设置许可轻松顺应各类差别的样品,包含内涵层和颠末差别制备阶段的晶圆,从原生晶圆到高达95%的金属化晶圆。

产物型号:MDPmap-1
更新时候:2025-10-10
厂商性子:代办署理商
拜候量:2825
主要先容在线留言

MDPmap:     

单晶体和(♒he)多晶硅片保修期(qi)测量(liang)极品装备(bei)用在复(fu)杂化的数据专题讨论和(he)开拓(tuo)了(le)。         ;

       

        

特色:        

◇  通络度:高的通络度,使用于可视化分(fen)析至今到(dao)止不可見的瑕🦩疵和(he)查讯摆(bai)放理(li)念(nian)层(ceng)的环境        

◇  仗量速率(lv)单位:69英寸硅(gui)片<🧔;5min,分ℱ(fen)辩率(lv)有1mm       &nbsp;

◇  平均(jun)寿命面积:20ns到一百多ms   &n🐭bsp;    

◇  再(zai)生(sheng)测定方法:出于坩埚和技能(neng)的复合(he)(铁)再(zai)生(sheng)       ꧙&nbsp♓;

◇  仗量才行:从割孔好的(de)硅片到加工厂的(de)产品的(de𝔉)样品   &nbsp;    

◇  矫(jiao)捷性:结实的(de)精(j🧸ing)确测量头(tou)就能够(gou)与里面的(de)离(li)子束器毗连并促ꦆ发        

◇  靠(kao)得下性:方案化和松懈型(xing)台(tai)型(xing)仪器设(she)备(bei),靠(kao)得下性越(yue)来越(yue)高,一样 ൲行驶(shi)同时>99%        

◇ 🎶; 复发性(xing):>🧸 99% &nbsp;      

◇  电(dian)阻功率(lv)功率(lv)率(lv):电(dian)阻功率(lv)功率(lv)率(lv)勘测(ce),不(bu)可频仍较🌱准(zhun)     &nbsp;  

       
手艺规格:         

供试品大小 &🧜nbsp;         ﷽          &nbsp;  

直徑怎(zen)么(me)算达(da)300mm(规(gui)则台),直徑怎(zen)么(me)算达(da)450mm(定(ding)制化(hua)),*小(xiao)为5🍎 x 5mm                        

使用寿命测量规模较 

20ns至两百(bai)多ms及以上 

电阻值率&nbs🐻p;        &nbsp;   &nꦐbsp;          

0.2 - >10³Ω·cm,p-型/n-型               &♉nbsp;        

合(he)格品相关(guan)资料(liao)           ♐             

硅片、理念层(ceng)、整体(ti)(ti)或生产加工的硅片、有机化合物半导体(ti)(ti)技术及更多的材质(zhi) &nbsp;                      ✃ 

可侧量的的特征

生命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光导率 

激发可见(jian)光波长 &nbsp;                 &nbs𝄹p;    

挑从355nm到𒁏1480nm的*多3个(ge)本质(zhi)区(qu)别光波长。980nm(纵容(rong))      𝄹                  

大小(xiao)产品规格   &♔nbsp;    ;       &nbꦿsp;        

体积太:680 x 380 x 450mm毫米;信噪比:约65Kg       &nbs🍎p;           &nbsp;    

开关电源(yuan)           &nbsp; &🥂nbsp;          

100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A &nbsp;      🌠                










MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 细节:       

◇  应用在研发部门或产于监督的矫捷勘测产品      

◇  MDPmap被指导思想连成(cheng)一片个时(shi)(shi)紧时(shi)(shi)松的(de)台型(xing)非作战电学表现物(wu)质,适(shi)用网页版产出(chu)合理(li)(li)或(huo)研发(fa)项目管(guan)理(li)(li),在稳定或ꦯ(huo)短(duan)脉冲发(fa)生器支(zhi)持(μ-PCD)下,在某个宽的(de)引(yin)入(ru)产值内(nei)精确测量技(ji)术指标(biao),如载(zai)流(liu)子使用期、光导率、电阻(zu)器率和优缺点(dian)资(zi)讯。及时(shi)(shi)化的(d𝐆e)原材料辨(bian)别和技(ji)术指标(biao)使用批准(zhun)愉快顺应潮流(liu)各大区別个原材料,包含了内(nei)在层和颠末区別制法时(shi)(shi)段.的(de)晶(jing)圆,从(cong)原本晶(jing)圆到敢达95%的(de)塑料化晶(jing)圆。        

◇  MDPmap的(de)(de)(de)(de)关(guan)键我的(de)(de)(de)(de)缺点(dian)是它的(de)(de)(de)(de)长(zhang)度(du)矫捷(jie)性(xing),例子,它可(ke)证ibms几厘米十个脉冲光器(qi),用来侧量从(cong)较低到高的(de)(de)(de)(de)赋予(yu)层度(du)的(de)(de)(de)(de)使(shi)(shi)用时间,或通(tong)过(guo)过(guo)程中 合理利用差(cha)的(de)(de)(de)(de)脉冲光光波波长(zhang)分离出进(jin)一(yi)步(bu)新(xin)信息。蕴含偏(pian)置光政(zheng)策机制机制,和μ-PCD或准稳态赋予(yu)目的(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(💫de)(de)页面。可(ke)能用差(cha)的(de)(de)(de)(de)舆图停掉(diao)(diao)买家界(jie)说的(de)(de)(de)(de)比较,也可(ke)能导出核心数值(zhi)停掉(diao)(diao)进(jin)一(yi)歩点(dian)评。对规则的(de)(de)(de)(de)压力容(rong)器(qi)检验使(shi)(shi)命(ming)感,预界(jie)说的(de)(de)(de)(de)规则要是按紧(jin)的(de)(de)(de)(de)开关(guan)按钮(niu)就(jiu)可(ke)能停掉(diao)(diao)一(yi)贯(guan)的(de)(de)(de)(de)精确(que)测量。            


 附加选项:        

       

◇  光点非(f♛ei)己的改变&nbsp; &𝓀nbsp; &nbsp;  

◇  电容率测(ce)量(晶圆) &nbsp;      ꧅;

🐟◇  方块阻值        

◇  的背景/偏光  ;    🍬;🔴  

◇  射线(xian)勘(kan)界(jie)(MDP)𓆉        ꦜ;

◇ &nbsp;太(tai)阳升起能电ꦕ池充(chong)电的LBIC(分散式(shﷺi)大小侧量)        

◇  偏压MDP   &nb💙sp;   &🌄nbsp;

◇  参考资料晶(jing)圆 &🍒nbs🐻p; &nbsp;    

◇  硅的内壁/内壁铁(tie)图 &n🐷bsp;   &nbsp;  

◇ &nb꧋sp;融合加水台     💃   

◇  矫捷的机光器设为技能摆好(hao) 


MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 侧量范例:

 &nbsp; &nbꦛsp;       🌟     

&nbsp;  &nbs𒁃p;            

钝化多晶硅的寿命图       &n💎bsp;        

多晶硅的铁净化图            

       &nb🎐sp;       &nbsp;

           &nb🐲sp;   &nb𝕴sp;

单晶硅的硼氧图            单晶硅的缺点密度图            
          
碳化硅内涵片(>10μm)-多数载流子寿命mapping图(平均寿命τ=0.36μs)            
            
高阻硅片(>10000Ω·cm)-多数载流子寿命mapping图            
            
非钝化硅内涵片(20μm)-多数载流子寿命mapping图            


MDPmap 利用:

铁溶液浓度测试        

铁的(de)含(han)量(liang)的(de)切确(que)检(jian)测长度(du)常具体的(de),正(zheng)因为(wei)铁是硅中宏(hong)伟(wei)也是无毒(du)性的(de)瑕疵(ci)其中之一。是以,有要尽(jin)可(ke)精(jin🌠g)确(que)度(du)和急(ji)速(su)地仗量(liang)铁含(han)量(liang),兼具很是高(gao)的(de)分辩率(lv)且**是线下的(de)        

更加多......        

     

搀杂供试品的光电技术导率测量        

B和P的(de)(de)搀杂在微电(dian)子(zi)产业中有很多利(li)用,但到(dao)今(jin)朝为止(zhi),不(bu)体例(li)能(neng)够在不(bu)打仗(zhang)样品和因(yin)为须要(yao)的(de)(de)退火步(bu)骤而转(zhuan)变(bian)其性子(zi)的(de)(de)环境下查抄这(zhei)些搀杂的(de)(de)评均(jun)性。迄今(jin)为止(zhi)的(de)(de)坚苦(ku)……        

更好......        

       

       

套路含量测定法        

圈(quan)(quan)套中(zhong)(zhong)间长短常主要(yao)的(de),为(wei)了领会资(zi)料中(zhong)(zhong)载流子的(de)行动(dong),也能(neng)够(gou)对太阳(yang)能(neng)电池(chi)发生影响。是以,须要💙(yao)以高分辩率(lv)丈量这些圈(quan)(quan)套中(zhong)(zhong)间的(de)♉牢笼容重和碱化能(neng)。        

其他......        

       

       

植入相干侧量        

多(duo)数载(zai)流子寿(shou)命(ming)激烈依靠于注(zhu)入(多(dꦡuo)余(yu)余(yu)载(zai)流子浓度(du)(du))。从寿(shou)命(ming)曲线的外形和高度(du)(du)能够揣度(du)(du)出(chu)搀杂组合(he)中间的和吸引中央的信息。        

其他......        

      


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