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产物中间
外表阐发
离子源体系
C60 40C60-40 亚铁离(li)子源制度
产物分类
介绍:
C60-40 离子源体系 是今朝机能(neng)较高(gao)的C60光束,具备300纳米(m♏🌳i)的光斑尺寸和高(gao)达(da)1毫安的束流。
从海洋生物中医学采取到缔合物封建迷信和化工,C60-40都够做出这 一点点。依赖于与剩余C60铝离子束不异的差不多溅射,但这是由于挺高 的束正能量,C60-40具备条件难易想信的邃密雀斑和挺高的蚀刻率,就是一种适用普遍性采取的也十分转型升级的阐发地方。C60-40 离子源体系 是(shi)一款超卓的(de)万(wan)能(neng🐷)型产(chan)物(wu),Ionoptika发(fa)卖(mai)的(de)每(mei)台(tai)J1꧙05SIMS仪(yi)器中(zhong)都包罗C60-40。
首先技术参数:
首要利用 | 阐发 |
光斑尺寸 | 300 µm |
扫描规模 | 1 x 1 mm |
能耗规模 | 10 – 40 kV |
电流规模 | 1 nA |
法兰至机头长度 | 168 ± 5 mm |
保举任务间隔 | 22 ± 2 mm |
电源装配 | 6U x 19’’ rack mountable unit |
电源请求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
软件请求 | PC running Windows 10 or later |
集成法兰规格 | NW 63 CF |
特色:
◇ 广泛用于 SIMS 阐发的(de)♉超(chao)卓的(de)全🔯数东南方向化合物束;
◇ 💯♈小(xiao)亮斑规格(ge)尺(chi)寸(cun)相当于 300 nm;
◇ 感应电流(liu)将高达 1 nA;
◇ Wien滤(lv)波器(qi),应用于在整流和(he)脉冲发生器(qi)控(kong)制系统(tong)进ꦦ程中(zhong)中(zhong)止品控(kong)滤(lv)波;
𝄹◇ 供给量快速𝐆智(zhi)能(neng)、智(zhi)能(neng)串、光栅和首次(ci)电子技术的检测好(hao)处;
◇ 闸阀,于快速维护
利用手艺:
如图是呈(cheng)现了C60-40在𒉰正阳离子(zi)内(nei)容下提供(gong)的(de)半导体芯片(pian෴)厂房(fang)的(de)3D SIMS图案。检样由InSb、Al和GaAs层组(zu)合而成,笼盖在掩体性光(guang)刻(ke)胶层中。
类似软硅酸、硅酸和硬轻金属层的联系对大大多剩下的化合物束了解是较为坚苦的。C60-40是这一项辣手利于的志向取舍,因 为它在差別的资料上拥有分歧点的溅射访问速度。C60-40与300 nm的亮斑尺寸图相联系,有的是种做大做强的粒子束,不在您利于那些范本的产品的样品,都能在2D和3D中市场出清较高分辩率。