静态二次离子质谱仪(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry,简称D-SIMS)是一种用于固体资料成份阐发的高活络度外表阐发手艺。
ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的主动阐发而设想,是大 大都半导体开辟和撑持尝试室的经常利用东西。经由进程优化的二次离子搜集光学体系 和超高真空设想,供给了薄膜布局检测中的搀杂组分和罕见杂质所需的活络度。
任务道理:
静态二次离子质谱仪经由进程利用聚焦的高能量一次离子束(如O₂⁺、Cs⁺、Ar⁺等)轰击样品外表,使样品外表的原子或份子被溅射出来。在这个进程中,局部溅射出的粒子会带电,构成二次离子。这些二次离子被搜集并传输到质谱仪中停止阐发,经由进程质谱阐发能够肯定样品的化学构成和元素散布。
